Резонаторы ВАЗ 2110, 2111, 2112 (средний глушитель) : цена, Глушитель ЗП
Резонаторы ВАЗ 2110, 2111, 2112
Код товара: 11. 32 SKS
Производитель: SKS
Материал: Черный металл
Страна производитель: Украина
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Хетчбэк
Деталь: Резонатор
Время доставки: 1-3 дня
Код товара: Рез. 2110 (1_6 -07) SKS
Производитель: SKS
Материал: Черный металл
Страна производитель: Украина
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан / Универсал / Хетчбек
Деталь: Резонатор
Номер Walker: 22127-01
Время доставки: 1 — 3 дня
Показать все
Производитель: Polmostrow
Материал: Алюминизированная сталь
Страна производитель: Польша
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан / Универсал / Хетчбек
Деталь: Резонатор
Оригинальный номер: 2110-1200020
Номер Walker: 22127-01
Время доставки: 1 — 3 дня
Код товара: 11. 24 SKS
Производитель: SKS
Материал: Черный металл
Страна производитель: Украина
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан / Универсал / Хетчбек
Деталь: Резонатор
Оригинальный номер: 2110-1200020
Номер Walker: 22127-01
Время доставки: 1 — 3 дня
Показать все
Производитель: SKS
Материал: Черный металл
Страна производитель: Украина
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан / Универсал / Хетчбек
Деталь: Резонатор
Номер Walker: 22127-01
Время доставки: 1 — 3 дня
Код товара: 1401302
Производитель: Rud Exhaust System
Материал: Нержавеющая сталь
Страна производитель: Украина
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан
Деталь: Резонатор
Время доставки: 1 — 3 дня
Показать все
Код товара: 1401302
Производитель: Rud Exhaust System
Материал: Нержавеющая сталь
Страна производитель: Украина
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан
Деталь: Резонатор
Время доставки: 1 — 3 дня
Показать все
Код товара: Рез. 2110 (1.6-05) SKS
Производитель: SKS
Материал: Черный металл
Страна производитель: Украина
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан / Универсал / Хетчбек
Деталь: Резонатор
Номер Walker: 22127-01
Время доставки: 1 — 3 дня
Показать все
Код товара: 11. 24 Marix
Производитель: Marix
Материал: Алюминизированная сталь
Страна производитель: Польша
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан / Универсал / Хетчбек
Топливо: Бензин
Деталь: Резонатор
Номер Walker: 22127-01
Время доставки: 1 — 3 дня
Показать все
Код товара: 11. 25 Marix
Производитель: Marix
Материал: Алюминизированная сталь
Страна производитель: Польша
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Тип кузова: Седан / Универсал / Хетчбек
Топливо: Бензин
Деталь: Резонатор
Номер Walker: 22127-01
Время доставки: 1 — 3 дня
Показать все
Код товара: 11. 18_marix
Материал: Алюминизированная сталь
Страна производитель: Польша
Марка: ВАЗ
Модель: 2110
Деталь: Резонатор
Оригинальный номер: 21102-1200020
Наличие: Есть
Время доставки: 2-3 дня
Показать все
Резонаторы на другие модели Глушитель ВАЗ:
Каталог
Ответы на частые вопросы
- Сколько дней товар находится в пункте выдачи?
В отделении курьерской службы «Новая Почта» заказ будет находиться в течении 5 дней. По истечению данного срока, товар возвращается отправителю.
- Какие запчасти к выхлопной системе лучше — алюминизированные или из черного металла?
Качественные запчасти — алюминизированные, срок службы в среднем 4-5 лет. Но и цена выше чем у черного металла. Срок службы выхлопной из черного металла — до 2х лет.
- Возможен ли обмен или возврат?
Обмен/возврат товара возможен в течение 14 дней с дня покупки.
- Отправляете заказы каждый день?
Кроме выходных. Отправка день в день (для заказов до 12-00).
Также в нашем интернет магазине Вы можете купить:
В наличии выхлопные системы и глушители для таких кузовов: седан, хэтчбек, универсал. Также джип, автобус, грузовик.
Доставка товара:
Мы доставляем товары (выхлоп, штаны и другие запачасти) в города: Киев, Харьков, Днепр, Одесса, Запорожье, Львов, Полтава, Николаев, Ровно, Сумы, Чернигов, Ивано-Франковск и множество других городов, в которые ездят компании перевозчики. Подробнее в разделе доставка.R012 Резонатор ВАЗ 21102 до 2007 г.в. дв.1,5 L 8 кл. Е- CBD
| Применяемость | ВАЗ-21102 до 2007г., 21103 Евро 3 до 2007г., 2111 Евро 2 и Евро 3, 2112 до 2007г. 8клап. |
| Материал | углеродистая сталь |
| Штрих код | 4670010860459 |
Фильтр
- срок доставки
- Доступное количество
- Сбросить
Автокаталог AVTOGAZ. SU – это обширный перечень запчастей, комплектующих и расходных материалов для автомобилей любых марок. В ассортименте – все для ремонта, срочной замены и планового обслуживания машины. Мы предлагаем недорого купить R012 Резонатор ВАЗ 21102 до 2007 г.в. дв.1,5 L 8 кл. Е- CBD по выгодной цене в Жуковском с гарантией от производителя. Возможен как самовывоз, так и доставка по вашему адресу.
Почему покупают Резонатор ВАЗ 21102 до 2007 г.в. дв.1,5 L 8 кл. Е- CBD R012 у нас?
AVTOGAZ.SU специализируется на поставке качественных автодеталей и сменных элементов. Мы реализуем оригинальные и неоригинальные запчасти, вроде R012 Резонатор ВАЗ 21102 до 2007 г.в. дв.1,5 L 8 кл. Е- CBD, изготовленные с учетом требований автопроизводителей. Высокая совместимость и длительный рабочий ресурс – качества, на которые мы делаем ставку при наполнении каталога.
Также в числе своих преимуществ мы предлагаем:
- доступные расценки на R012 Резонатор ВАЗ 21102 до 2007 г. в. дв.1,5 L 8 кл. Е- CBD и другие автотовары;
- помощь менеджера при подборе;
- удобные способы оплаты;
- большой каталог запчастей на отечественные авто и иномарки;
- подбор по ВИН-номеру.
Цена на R012 CBD Резонатор ВАЗ 21102 до 2007 г.в. дв.1,5 L 8 кл. Е-
Узнать стоимость, технико-эксплуатационные характеристики детали, а также сроки поставки вы всегда можете у наших менеджеров.R012 Резонатор ВАЗ 21102 до 2007 г.в. дв.1,5 L 8 кл. Е- CBD в наличии и под заказ можно купить в интернет-магазине avtogaz.su уже сейчас – оформите заказ через корзину или свяжитесь с нами по телефону/в мессенджерах. Мы гарантируем конкурентные условия, ответственную доставку и компетентную помощь в выборе комплектующих. Работаем с оптовыми покупателями и в розницу. Поставляем запчасти на легковой, коммерческий автотранспорт и спецтехнику.
Резонатор ВАЗ 21103 с ДВС 1,5л 16кл до 2004г.в. Premium
Фильтр по штрих-коду Кликните для выбора46037359054264603735905181460373590524246037359055014603735905525460373590500646037359050204603735905044460373590520446037359050684603735905228460373590540246037359050824603735905389460373590510546037359051434603735905129460373590530346037359051674603735905440460373590526646037359054644603735905280460373590558746037359056004603735905327460373590534146037359055494603735905488460373590564846037359056244603735905365460373590669046037359098374603735905563460373590592146037359061264603735906140460373590632446037359063004603735905662460373590580846037359057854603735906027460373590570946037359060414603735905884460373590606546037359060034603735905822460373590590746037359060894603735905686460373590584646037359058604603735905969460373590598346037359059454603735905723460373590574746037359057614603735906102460373590634846037359062634603735906287460373590618846037359062014603735906249460373590622546037359067064603735909820460373590616446037359067134603735905433460373590519846037359052594603735905518460373590553246037359050134603735905037460373590505146037359052114603735905075460373590523546037359054194603735905112460373590539646037359050994603735905150460373590513646037359053104603735905174460373590545746037359052734603735905471460373590529746037359055944603735905617460373590533446037359053584603735905556460373590549546037359056554603735905631460373590537246037359067204603735909813460373590557046037359059384603735906133460373590615746037359063314603735906317460373590567946037359058154603735905792460373590603446037359057164603735906058460373590589146037359060724603735906010460373590583946037359059144603735906096460373590569346037359058534603735905877460373590597646037359059904603735905952460373590573046037359057544603735905778460373590611946037359063554603735906270460373590629446037359061954603735906218460373590625646037359062324603735906737460373590980646037359061714603735906744460373590675146037359067684603735906775460373590678246037359067994603735906805460373590999846037359099814603735909974460373590996746037359099504603735909943460373590993646037359099294603735909912460373590990546037359098994603735909882460373590979046037359097834603735906423460373590643046037359064474603735906454460373590646146037359064784603735906560460373590648546037359065084603735906515460373590652246037359065534603735906539460373590658446037359065914603735906607460373590661446037359066214603735906638460373590665246037359066694603735906676460373590668346037359098754603735909868460373590985146037359098444603735906812460373590682946037359068364603735906843460373590685046037359068674603735906874460373590688146037359068984603735906911460373590694246037359069594603735906966460373590697346037359069804603735906997460373590700046037359071304603735906706
По OEM Кликните для выбора11180120001011180120001011190120001021020120001021060120001021080120001021099120001021100120001021100120001021120120001021120120001021141201005-01211401200010211501201005211501200010212001200010212141200010234701200010-20212301200010217001200010-01217001200010217201200010-0121720120001021900120001021920120001023470-120100521490-1201005961801442104012010052717-1201010TF69Y0-1201009-2020100770R845003076060015476769618225711180-1200020210401202005210401202005-01210731200020210741200020210801200020210821200020210811200020211441200020211001200020211001200030211011200021211011200030217001200020211021200020211031200030212001200020212131200030212141200020212141200030212301200018-20212301200018-30212301200030213101200020213131200020213141200020217001200020-01219001200020961844139614365027175-1202010-2027175-1202010-3020106999R20109687R8450006416600154767456196tf69y0120200820111801200010111801200010111901200010210201200010210601200010210801200010210991200010211001200010211001200010211201200010211201200010211401201005-0121140120001021151201005211501200010212001200010212141200010234701200010-20212301200010217001200010-01217001200010217201200010-0121720120001021900120001021920120001023470-120100521490-1201005961801442104012010052717-1201010TF69Y0-1201009-2020100770R845003076060015476769618225711180-1200020210401202005210401202005-01210731200020210741200020210801200020210821200020210811200020211441200020211001200020211001200030211011200021211011200030217001200020211021200020211031200030212001200020212131200030212141200020212141200030212301200018-20212301200018-30212301200030213101200020213131200020213141200020217001200020-01219001200020961844139614365027175-1202010-2027175-1202010-3020106999R20109687R8450006416600154767456196tf69y012020082011180120001011190120001021080120001021099120001021100120001021120120001021120120001021120120001021141201005-0121140120001021151201005211501200010212001200010212141200010234701200010-20212301200010217001200010-01217201200010-012102012000102106012000102101120301021073120301021074120301021081203010210821203010211012030102110112030332110312030102121312030102121412030102121412030100121231203010032123120301011183-1203010-1021101-1203010-1011186-1203010-1021104-1203010-102170-12030102107412060100221100120601002213101203034552108012030404221103-1203010-00gofra51100gofra51200tulpan4365tulpan43452101210321073210742121210421042106210621212121-1200010-6021213-1200010-6021214-1200011-6021214-1200010-601200010-601200011-602131-1200010-602121012030108450006416
По короткому коду Кликните для выбора1118, 1117 1118, 111711192102 ,2104 2105,2106,2107 2108. 2109210992110 до 2008г.2110 нового образца после 2008г.2112 до 2008г.2112 нового образца после 2008г.2113,2114 нового образца2113.21142115 нового образца2115212021213, 21214, 21312123 нового образца2123 сборка ОПП2170, 21712170, 2171217221722190,2191,21942192 ВИС 2108 пикап ВИС 2190 пикапДЭУ Нексия2104-06 инж. (ИЖ)ИЖ 2105 пикап ЗАЗ Шанс / Ланос (под сферу)LADA Ларгус 2180,2181 ВестаРено ЛоганШевроле Ланос (под флянец)1117,1118,11192104 (иж) Евро2 2104 (иж) Евро3 21073инж21074 инж 2108,2109,210992108,2109,21099,2113,2114,21152108,2109,21099,2113,2114,21152113/2114/2115 после 2008г с двс 1,6л2110 с ДВС 1,5л 8 кл.до 2008г2110/2111/2112 16кл до 2008г2110/2111/2112 инжектор 8кл 1,5л штамп. Фланец 2110/2111/2112 после 2008г ДВС (124)16л 16кл.2110/2111/2112 посте 2008г (короткий)211022110/2111/2112 с ДВС 1,5л 16кл до 2004 года21202121.2121321214 Евро-221214 Евро-3 2123 GM Eвро-2 2123 GM Eвро-3 2123 ОПП21312131 Евро3 2131 Евро4 2170/2171/2172 Priora2190 Granta ДЭУ Нексия Евро-2 ДЭУ Нексия Евро-3 Иж пикап 27175 Евро2 Иж пикап 27175 Евро3 ЛАДА Ларгус (16кл) ЛАДА Ларгус (8кл) 2180/2181 ВестаRENAULT/Рено: LOGAN/Логан 1. 4/1.6 Сандеро/Sandero, Largus/Ларгус 8клШевроле Ланос (под флянец)Ланос / ЗАЗ Шанс (под хотут)1117/11181117/111811192102 / 2104 2105/2106/2107 2108/2109210992110/2111 до 2008г2110/2111 после 2008г2112 до 2008г2112 после 2008г2113/2114 2113/211421152115212021213/212142123 нового образца2123 сборка ОПП2170/21712170/2171217221722190,2191,2194 Granta2192ВИС 2108 пикапВИС 2190 пикапДЭУ Нексия2104-06 инжекторИЖ 2105 пикап ЗАЗ Шанс / Ланос (под сферу)ЛАДА Ларгус 2180/2181 ВестаРено Логан Шевроле Ланос (под флянец)1117/1118/11192104 (иж) Евро2 2104 (иж) Евро3 21073 инж 21074 инж 2108/2109/21099 2108, 2109, 21099, 2113, 2114, 2115 2108, 2109, 21099, 2113, 2114, 2115 2113/2114/2115 после 2008г с двс 1,6л2110 до 2004г с ДВС 1,5л 8кл2110 с компенс 16кл до 2008г21101 с 8кл 1,5л21101 с компен2110/2111/2112 после 2008г 2110/2111/2112 Евро-22110/2111/2112 1,5л16кл до 2004г212021213 (карбюратор)21214 инж.21214 инж. Евро3 2123 GM Eвро-2 2123 GM Eвро-3 2123 сборка ОПП21312131 Евро3 2131 Евро4 2170/2171/21722190 Granta ДЭУ Нексия Е2 ДЭУ Нексия Е3 Иж пикап 27175 Евро2 Иж пикап 27175 Евро3 Ларгус (16кл) Ларгус (8кл) 2180/2181 Веста RENAULT/Рено: LOGAN/Логан 1. 4/1.6 Сандеро/Sandero, Largus/Ларгус 8кл***Шевроле Ланос (под флянец)Ланос / ЗАЗ Шанс (под хотут)1118 / 111711192108/ 2109210992110 до 2008 года2110 после 2008 года2112 до 2008г2112 после 2008г2113/2114 нового образца2113/21142115 нового образца2115212021213, 21214, 21312123 нового образца2123 сбока ОПП2170 ,217121722102/21042105/2106/2107 2101/2102/2103/210621073210742108/2109/210992108221102110121103212132121421214 Евро-42123 Евро-3212311183211011118621104217021102107421318 кл.16 кл.51-10051-20043/6543/4521012103/2106210732107421212102/21042102/21042101/2103/21062101/2103/21062121НИВА Ваз 2121НИВА Ваз 21213НИВА Ваз 21214 Евро 3НИВА Ваз 21214 Евро 2НИВА ВАЗ 2123 универсальнаяНИВА ВАЗ 2123 Евро 3 без нейтрализатораНИВА Ваз 2131 Евро 3ТрубаГлушитель универсальный основной ГУО-51/450Глушитель универсальный основной ГУО-57/4502180КиА РиоГлушитель дополнительный (резонатор) ГОСТ / Окрашен «Эмаль КО-8111 серебристая» / Сталь 08КПГлушитель универсальный основной ГУО-51/500Глушитель универсальный основной ГУО-57/500Глушитель дополнительный (резонатор) Алюминированная сталь DX52-AS120
ДаташитRO2112 — Частота = 433,42 ;; Описание = Резонатор
AFC10. 7M Серия : кварцевые генераторы. 7 X 4 X 7 мм керамические фильтры с малыми потерями, свинцовые, 10,7 МГц 8 / 2002i / i.
ASM3P2760A : Синтез часов для генерации пониженной частоты ЭМИ. Генерирует на выходе синхронизирующий сигнал, оптимизированный для электромагнитных помех. Компоненты интегрированного петлевого фильтра. Работает с питанием 3,3 В 10%. Рабочий ток менее 6 мА. КМОП-матрица с низким энергопотреблением. Диапазон входных частот: до 12 МГц.Генерирует тактовую частоту расширенного спектра с низким уровнем электромагнитных помех 1X входной частоты. Отклонение частоты: 0,75%. Доступны ЦОТ-23, 8-контактный SOIC и 8-контактный.
AV9107C : ФАПЧ для ЦП / памяти. Генератор частоты процессора. AV9107C предлагает крошечное решение для генерации двух одновременных часов. Один часов, то REFCLK, является фиксированной выходной частотой, которая является таким же, как входные опорным кристалл (или часы). Другой тактовый генератор, CLK1, может варьироваться от 2 до 120 МГц, при этом до 16 выбираемых предварительно запрограммированных частот хранятся во внутреннем ПЗУ (диапазон частот зависит от конструкции.
BQ4802Y :. ПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ ЧАСЫ РЕАЛЬНОГО ВРЕМЕНИ С НАПРАВЛЯЮЩИМ ЦП И ВНЕШНЕЙ SRAM НИЗКОЕ РЕЗЕРВНОЕ КОПИРОВАНИЕ ПАМЯТИ Внешний SRAM Менее нА рабочего тока тактовой частоты микропроцессора в резервном режиме.
M66235FP : Синхронные тактовые генераторы.
MC100EL11 : 1: 2 Дифференциальный буфер разветвления.Это дифференциальный буфер разветвления 1: 2. Устройство функционально аналогично устройству E111, но с более высокими характеристиками. Перекос внутри устройства и задержка распространения значительно улучшены по сравнению с E111. Дифференциальные входы EL11 используют схему ограничения для поддержания стабильности в условиях открытого входа. Если входы оставлены.
MC10EL15 : общего назначения /. Чип распределения тактовой частоты 1: 4. Это микросхема распределения тактовой частоты 1: 4 с низким уровнем перекоса, разработанная специально для приложений с низким уровнем перекоса тактовой частоты. Вывод VBB, источник внутреннего напряжения, доступен только для этого устройства. Для несимметричных входных условий, неиспользованный дифференциальный вход подключен к VBB в качестве опорного напряжения переключения. VBB может также изменять смещение входов, связанных по переменному току.
PLL520-17 :, 65–130 МГц на входе, 65–800 МГц на выходе, CMOS. Низкий фазовый шум VCXO с умножителями (для Fund Xtal 65–130 МГц) на кристалл основного режима 130 МГц. Выходной диапазон: 800 МГц (выбор множителей 2x, 4x и 8x). Низкая мощность впрыска для кристалла 50 мкВт.Доступные выходы: PECL, LVDS или CMOS. Интегрированные переменные конденсаторы. Поддерживает источник питания 3,3 В. Доступен с 16 выводами (TSSOP или SOIC) PLL520-17 / -18 / -19.
S1M8836 : Синтезаторы частот. Это синтезатор частоты с дробным коэффициентом деления со встроенными предделителями, предназначенный для работы на ВЧ до 1,0 / 2,5 ГГц и для работы на ПЧ до 520 МГц. Синтезатор с дробным коэффициентом деления позволяет легко создавать контуры фазовой автоподстройки частоты с низким уровнем фазового шума, обеспечивая быстрое переключение каналов и сокращая время ожидания для увеличения срока службы батареи. Модель S1M8836 / 37.
SMRN-A : Диапазон частот = от 8,000 до 46,000 МГц ;; Стабильность частоты = 2,8 X 2,3 X 1,5 0,11 X 0,09 X 0,06 ;; Размеры мм / дюйм = ;;.
SN54CDC586WD : Тактовые буферы на основе ФАПЧ (с нулевой задержкой). ti SN54CDC586, драйвер тактовой частоты 3,3 В с фазовой синхронизацией и выходами с 3 состояниями.
SX2060 : кварцевые генераторы. Технология = SMT ;; Пакет = 4,8 х 12,5 х 3,7 мм ;; Частота = от 3,500 до 70,000 МГц.
V530ME01 : Стиль упаковки = MINI-16M-LOW ;; Частота (МГц) = 526-541 ;; N @ 10 кГц (дБн / Гц) = -114 ;; Напряжение настройки (Vdc) = 0.От 50 до 4,50 ;; Чувствительность настройки (МГц / В) = 10 ;; Мощность (дБм) = 0,00 ± 4,00 ;; Op.temp (C) = от -40 до 85 ;; VCC (Vdc) = 5.00 ;; Icc (мА) = 9.
V585ME28 : Стиль упаковки = MINI-14S-LOW ;; Частота (МГц) = от 1200 до 2200 ;; N @ 10 кГц (дБн / Гц) = -98 ;; Напряжение настройки (Vdc) = от 1,00 до 20,00 ;; Чувствительность настройки (МГц / В) = 70 ;; Мощность (дБм) = 8,25 ± 2,75 ;; Op. temp (C) = от -40 до 85 ;; VCC (Vdc) = 5.00 ;; Icc (мА) = 21.
VC-DTCX-12A : кварцевые генераторы. Частота: 132 МГц.Кристаллический осциллятор с температурной компенсацией цифровой обработки. Отличные частотно-температурные характеристики и частотное старение. Выход C-MOS. Элемент Диапазон частот Частота Температурные характеристики Диапазон настройки частоты Только отклонение частоты / управляющее напряжение VC Диапазон рабочих температур Диапазон температур хранения Частота Старение Источник питания.
X356T : кварцевый генератор SMD 20,000000 МГц.
DS1305 : Последовательные часы реального времени с будильником Последовательные часы с будильником DS1305 предоставляют календарь часов с полным двоично-десятичным кодированием (BCD), доступ к которому осуществляется через простой последовательный интерфейс.Часы / календарь содержат информацию о секундах, минутах, часах, дне, дате, месяце и году. Дата конца месяца автоматически корректируется для месяцев, состоящих менее чем из 31 дня.
Технические данныеRO2112C — Частота = 433,420 ;; Описание = Резонатор
5992A : Программируемый драйвер тактовой частоты с фазовой автоподстройкой ФАПЧ Turboclock. 4 пары программируемых выходов с перекосом Низкий перекос: 200 пс для одной пары, 250 с для всех выходов Выбираемая синхронизация положительного или отрицательного фронта: отлично подходит для приложений DSP Разрешение синхронного выхода Выходная частота: 4x, 1/2 и 1/4 выхода 5 В с выходами CMOS 3 перекоса классы: tSKEW0
8002 Серия : Цифровая линия задержки.
AV9154A-60 : Цепи часов. Генератор частоты для ноутбуков Opti. Это недорогой частотный генератор, разработанный для ПК общего назначения и дисковых накопителей. Его тактовая частота процессора обеспечивает все необходимые частоты для систем 286, 386 и 486, включая поддержку новейших скоростей процессоров. Стандартные устройства используют кристалл 14,318 МГц для генерации тактовой частоты процессора и периферийных устройств для интегрированного настольного компьютера и ноутбука.
DMD5802 : Универсальный программируемый двойной ФАПЧ.
HMC440QS16G : Частотно-фазовый детектор. Ultra Low фазового шума SSB покрытие: -153 дБ / Гц @ 10 кГц смещение @ 100 МГц опорной частотой. Программируемый делитель (N = 2-32), работающий до 2,8 ГГц Усилители выходного буфера с открытым коллектором для взаимодействия с контурным фильтром на базе ОУ Корпус QSOP16G SMT: ЦИФРОВОЙ ФАЗОВЫЙ ДЕТЕКТОР HBT 29,4 мм2, — 1300 МГц, СО ВСТРОЕННЫМ 5- БИТНЫЙ СЧЕТЧИК, — 2800 МГц Типичный.
ICS9169C-273 : Цепи часов.Генератор частоты для систем на базе Pentium. Это недорогой частотный генератор, разработанный специально для систем на базе чипсетов Pentium. Встроенный буфер минимизирует перекос и обеспечивает все необходимые тактовые частоты. Кристалл XTAL 14,318 МГц обеспечивает эталонную тактовую частоту для генерации стандартных частот Pentium. Тактовая частота ЦП постепенно меняет частоту, не нарушая синхронизации ФАПЧ.
MC100EL39 : делить на 2/4, делить на 4/6 микросхемы генерации тактовой частоты. Это микросхема генерации тактовой частоты с малым перекосом 2/4, 4/6, разработанная специально для приложений с низким тактовым перекосом.Внутренние делители синхронизированы друг с другом, поэтому все общие выходные края точно выровнены. Вывод VBB, источник внутреннего напряжения, доступен только для этого устройства. Для несимметричных входных условий.
MC12080D : Предделитель (PLL). Предделитель 1,1 ГГц, упаковка: Soic, контакты = 8. Это деление на единицу модуля с помощью предварительного делителя для деления частоты малой мощности высокочастотного входного сигнала 1,1 ГГц. Входы управления коэффициентом деления SW1, SW2 и SW3 выбирают требуемый коэффициент деления 80.Для оконечной нагрузки на выходе требуется внешний нагрузочный резистор. Рекомендуется использовать резистор 820 для достижения размаха выходного сигнала 1,2 В при делении входного сигнала 1,1 ГГц.
S-3511A Серия :. . 1 Приложения 1 Блок-схема. 1 Назначение контактов 2 клеммы. 2 Операции. 3 образца прикладных схем. 15 Габаритная схема (единицы измерения: мм). 16 Заказ. 16 Регулировка частоты колебаний. 17 Абсолютные максимальные характеристики 19 Рекомендуемые условия эксплуатации 19 Характеристики колебаний.19 Электрические характеристики постоянного тока. 20 AC Электрический.
SM8580 : Часы реального времени ic. SM8580AM ИС часов реального времени с 4-битным интерфейсом и встроенным датчиком температуры Это ИС часов реального времени, основанная на кварцевом генераторе 32,768 кГц, который представляет собой 4-битный параллельный интерфейс для связи с внешним микроконтроллером. Он включает в себя секундомер и счетчик года, а также схемы календаря с автоматической корректировкой високосного года с точностью до года.
TFS225 : Устройства на ПАВ (поверхностная акустическая волна).Применение = GSM, DC, шт .;; Центральная частота = 225,0 МГц ;; 3 дБ = 160 кГц * ;; Пульсация полосы пропускания = ;; Вносимая потеря = 5,0 дБ ;; Пульсация групповой задержки = 1,5 мкс; Упаковка = 7 мм X 5 мм LCC.
SN65LVDS19 : каскад / буфер усиления генератора 2,5 В / 3,3 В с включением Эти четыре устройства представляют собой каскады усиления высокочастотного генератора, поддерживающие LVPECL и LVDS на выходах с высоким коэффициентом усиления в системах 3,3 или 2,5 В. Кроме того, предусмотрена возможность использования как несимметричных входов (уровни PECL на SN65LVx16), так и полностью дифференциальных входов на SN65LVx17.Модель SN65LVx16.
FX252B : без свинца 2,5 x 2,0 x 0,6 мм, основной до 54 МГц. ОПЦИИ Допуски Стабильность 10 PPM Диапазон температур 10 PPM ~ + 85C НОМЕР ДЕТАЛИ Узнать больше — Требуемый номер детали в Интернете 637-Frequency-xxxxx Номер модели FX252B Диапазон частот (МГц) ~ 54.000 Подробнее о: Маркировка деталей Идентификационная лента и параметры катушки Диапазон частот Допуск при стабильности частоты 25 ° C, см. При превышении допустимой температуры 25 ° C.
LMK03001C : Прецизионный формирователь тактовой частоты со встроенным ГУН из семейства PowerWise Прецизионные формирователи тактовой частоты LMK03000 / LMK03000C / LMK03001 / LMK03001C сочетают в себе функции очистки / восстановления джиттера, умножения и распределения опорных тактовых импульсов.В устройства встроен генератор, управляемый напряжением (VCO), высокопроизводительный Integer-N.
(PDF) Отражающие свойства двойной кольцевой резонаторной системы, связанной с волноводом
2112 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, VOL. 17, № 10, ОКТЯБРЬ 2005 г.
Минимальное расстояние между кольцами в многопроходных кольцевых массивах [5].
Кроме того, из-за взаимодействия двух колец рассматриваемый фильтр
имеет скорость спада второго порядка
40 дБ / декаду. Кроме того, пик передачи или отражения
составляет
, когда это
максимально плоско (ноль для первых трех производных).
Наконец, чтобы обеспечить некоторую дополнительную интуицию, обратите внимание на следующее:
уменьшение
всегда приводит к профилю с более высокой точностью,
то есть более ограниченным около
(уменьшается, когда это реально).
Уменьшение
приводит к более резким переходам между ними (
уменьшает, увеличивает). Также интересно, что при высокой связи
пределы
, становятся постоянными, в то время как для,
имеет фиксированный ноль при и четыре максимума при
,, когда.Для меньших
только два максимума
в,.
Кольца с незначительными потерями пока рассматривались. Для
колец с коэффициентом потерь амплитуды
, фаза приема-передачи составляет
, комплексная
, а отражательная способность становится
(4)
, где
«
, (остальные штрихованные
переменные являются переменными то же самое, используя
,). Для слабого убытка и
среднего или высокого
, в основном зависит от фактора
(увеличивается с).Для малых, этот член также способствует ослаблению
. Кроме того, увеличение пропускной способности невелико, и
нулей
становятся минимальными. Пример приведен на рис. 4.
Подробное рассмотрение случая, однако, будет предметом
последующих работ.
Чтобы проверить предсказания, мы решили двумерную задачу рассеяния, показанную на рис. 1, с помощью строгого анализа интегральных уравнений
[10]. В качестве примера рассмотрим типовые микрокольца
радиуса
м и ширины
м (рис.1), подключенного к пластинчатому волноводу шириной 0,2–
м. Все волны
имеют показатель преломления
и окружены воздухом
. Мы сфокусируемся на окне около m,
— резонансная длина волны для кольцевой ТЕ-моды 18-го порядка. FSR
для мод 17 и 19 составляет соответственно 68 и 62 нм.
Зазоры кольцевой волновод и кольцо-кольцо берутся 0,2
м. Расчетная отражательная способность
показана на рис. 5 в сравнении с (3)
, когда используются
, зависящие от длины волны, вычисленные
с помощью стандартной теории связанных мод [2].Результат re-
четко подтверждает предсказанные переходы типа Фано между
. Небольшие различия в резонансных длинах волн
и пульсации профиля являются результатом приблизительной характеристики подхода матрицы рассеяния. Кроме того, диаграмма поля стоячей волны
, показанная на вставке, показывает суперпозицию передних и бегущих в обратном направлении мод как в волноводе, так и в кольцах
. Дальнейшие расчеты интегрального уравнения также показали отличное согласие
с профилями, показанными на рис.2.
III. C
ВКЛЮЧЕНИЕ
Отклик системы двойного кольцевого резонатора, соединенной с одиночным волноводом
, впервые был проанализирован аналитически.
Рис. 5. Сравнение отражательной способности, полученной с помощью интегрального уравнения (сплошная линия
) и анализа матрицы рассеяния (пунктирная линия). На вставке показана величина
вектора электрического поля на высоте
м, соответствующая.
Отражательная способность устройства показывает разнообразие профилей, получаемых, когда задействованные коэффициенты связи удовлетворяют определенным аналитическим формулам
.Одиночные пики отражения перестраиваемой высоты
получаются, когда кольца слабо связаны. Результаты равны
в соответствии с анализом полноволнового интегрального уравнения для структуры
и применимы к аналогичным устройствам, таким как бисферы с модой перинг-галереи
, связанные с волокнами. Представленные свойства
могут оказаться очень полезными при проектировании отражающих фильтров и лазерных приложений
.
R
ЭФЕРЕНЦИИ
[1] K.Ода, Н. Такато и Х. Тоба, «Резонатор с двойным кольцом
с широким FSR-волноводом для оптических систем передачи FDM», J. Lightw. Technol.,
т. 9, вып. 6, pp. 728–736, Jun. 1991.
[2] Б. Э. Литтл, С. Т. Чу, Х. А. Хаус, Дж. Фореси и Дж. П. Лейн, «Микроэлементные фильтры
с резонаторными каналами», J. Lightw. Technol., Т. 15, вып. 6,
pp. 998–1005, Jun. 1997.
[3] ST Chu, BE Little, W. Pan, T. Kaneko, Y. Kokubun, «Second-
— реакция фильтра порядкаот параллельно соединенного стекла. микрокольцевые резонаторы »,
IEEE Photon.Technol. Lett., Vol. 11, pp. 1426–1428, Nov. 1999.
[4] А. Меллони, “Синтез параллельно соединенного фильтра с кольцевым резонатором”, Опт.
Lett., Vol. 26, вып. 12, pp. 917–919, Jun. 2001.
[5] Дж. Э. Хибнер, Р. У. Бойд и К. Х. Парк, «Солитоны SCISSOR и другие
новые эффекты распространения в волноводах, модифицированных микрорезонаторами», J.
Opt. Soc. Амер. В, т. 19, нет. 4, pp. 722–731, Apr. 2002.
[6] Л. Малеки, А. Б. Мацко, А. А. Савченков, В.Ильченко, «Tun-
способная линия задержки с взаимодействующими резонаторами типа шепчущей галереи»,
Опт. Lett., Vol. 29, нет. 6, pp. 626–628, Mar. 2004.
[7] JKS Poon, J. Scheuer, S. Mookherjea, GT Paloczi, Y. Huang, and A.
Yariv, «Матричный анализ микрокольцевого связанного резонатора. оптическая волнаg-
ед., Опт. Экспресс, т. 12, вып. 1. С. 90–103, январь 2004.
[8] Казаринов Р.Ф., Генри Ч., Олссон Н.А., «Узкополосные резонансные оптические отражатели
и резонансные оптические преобразователи для лазерной стабилизации
и мультиплексирования с разделением по длине волны. ”IEEE J.Квантовая электроника, т.
QE-23, нет. 9, стр. 1419–1425, сентябрь 1987 г.
[9] Б.Е. Литтл, С.Т. Чу, Х.А. Хаус, «Фильтрация второго порядка и зондирование
с частично связанными бегущими волнами в одном резонаторе»,
Opt . Lett., Vol. 23, нет. 20, pp. 1570–1572, Oct. 1998.
[10] ID Chremmos и NK Uzunoglu, «Передача и излучение в пластинчатом волноводе
, соединенном с резонатором шепчущей галереи: Volume inte-
gral Equation Analysis», Дж.Опт. Soc. Амер. А, т. 21, нет. 5, pp. 839–846,
May 2004.
[11] S. Fan, W. Suh, JD Joannopoulos, «Теория связанных мод во времени
для резонанса Фано в оптических резонаторах», J. Opt. . Soc. Амер. А, т.
20, корп. 3, pp. 569–572, март 2003 г.
Патент США на пьезоэлектрический вращающийся MEMS-резонатор Патент (Патент №10,910,549, выданный 2 февраля 2021 г.)
Настоящее раскрытие относится к резонаторам МЭМС, и более конкретно к резонаторам МЭМС, в которых один или несколько элементов массы приводятся во вращательное движение посредством пьезоэлектрического срабатывания или где вращательное движение одного или нескольких элементов массы обнаруживается пьезоэлектрическим средства.Настоящее изобретение также относится к гироскопам и тактовым генераторам, реализованным с пьезоэлектрическими вращающимися MEMS-резонаторами.
Уровень техникиРезонаторы, описанные в этом раскрытии, содержат элемент инерционной массы, подвешенный по меньшей мере на одной пружинной конструкции. Элемент инерционной массы приводится в первичное колебательное движение с помощью периодической исполнительной силы. Он может быть механически связан с другими элементами массы.
РИС. 1 показывает упрощенную иллюстрацию структуры резонатора MEMS.Инерционная масса 11 подвешена к неподвижной раме 12 на подвесках 13 . В этом описании «фиксированный» объект означает объект, который намного больше, чем структуры МЭМС резонатора, например, опорной основы, на которой сформированы MEMS структуры, или, альтернативно, объект, который надежно прикреплен к гораздо большей структуре и не способны движется в любом направлении по отношению к этой конструкции. Термин «точка привязки» относится к области, где частично подвижные объекты, такие как подтяжки, могут быть прикреплены к фиксированному объекту.Термин «точка прикрепления» относится к области, где два объекта, фиксированные или мобильные, прикреплены друг к другу.
В этом раскрытии «подвешенный» объект означает объект, который прикреплен к неподвижному основанию с помощью гибких средств, таких как пружины или балки. В приложениях МЭМС на основе кремния эти пружины и балки обычно содержат области кремния, которые тонкие, по крайней мере, в одном измерении, так что они достаточно гибкие, чтобы их можно было сгибать или скручивать движением исполнительного механизма или движением инерционного масса, к которой они прикреплены.В частности, в пьезоэлектрических устройствах MEMS эти пружины и балки достаточно гибкие, чтобы их можно было сгибать или скручивать пьезоэлектрическими преобразователями. В этом раскрытии термин «подвеска» будет использоваться как общий термин для пружины или балки, которые прикрепляют подвижную инерционную массу к неподвижному объекту.
Инерционная масса 11 на РИС. 1 может вращаться относительно его изображенного начального положения покоя в плоскости xy в двух разных режимах. В этом раскрытии термин «колебания в плоскости» относится к вращательным колебаниям вокруг оси z на фиг.1. Термин «колебания вне плоскости» относится к вращательным колебаниям вокруг любой оси в плоскости xy, например, оси y. Плоскость, определяемая положением покоя инерционной массы 11 (которая совпадает с плоскостью кадра 12 на фиг. 1), также будет называться «плоскостью массы» или «плоскостью инерционной массы».
Система координат, показанная на чертежах этого раскрытия, включает ось y, параллельную продольному направлению инерционной массы, и поперечную ось x, которая ортогональна оси y и лежит в плоскости массы.Продольный размер инерционной массы обычно больше, чем ее поперечный размер в этом раскрытии. Вертикальная ось z ортогональна как оси y, так и оси x. Как уже упоминалось, плоскость массы определяется положением покоя инерционной массы. Другими словами, массовая плоскость в резонаторе параллельна верхней поверхности инертной массы, когда инерционная масса не движется. Вращение «в плоскости» относится в этом раскрытии к вращательному движению в плоскости масс, в то время как вращение «вне плоскости» относится к вращательному движению вне плоскости масс.
Движущая сила, приводящая в движение инерционную массу в MEMS-резонаторах, обычно бывает электростатической или пьезоэлектрической. Примерная установка для пьезоэлектрического срабатывания показана на фиг. 2. Инерционная масса 21 в этом случае имеет форму рамы с центральным отверстием и фиксированной точкой крепления 22 внутри центрального отверстия. Инерционная масса подвешена к точке крепления 22 на подвесках 231 и 232 .Один конец каждой подвески прикреплен к точке крепления 22 в своей первой точке крепления 241 , 242 , а другой конец прикреплен к инерционной массе в ее второй точке крепления 251 , 252 . Подвески 231 и 232 покрыты пьезоэлектрическими преобразователями, которые могут генерировать колебания как в плоскости, так и вне плоскости, как будет более подробно описано ниже. К этим датчикам можно подвести электрические контакты, например, через точку крепления 22 или через отдельные свободные пружины, предназначенные для этой цели.
Пьезоэлектрические преобразователи на подвесках могут использоваться (во-первых) для приведения и поддержания инерционной массы в движении, и (во-вторых) для обнаружения движения инерционной массы. В этом раскрытии префикс «привод» будет использоваться для всех механических и электрических средств и способов, которые относятся к установке и поддержанию инерционной массы во вращательных колебаниях. Приставка «чувство» будет использоваться для механических и электрических средств и методов, которые относятся к обнаружению вращательных колебаний инертной массы.
В этом раскрытии пьезоэлектрические преобразователи, которые приводят в действие резонатор, называются преобразователями возбуждения. Когда напряжение возбуждения прикладывается к электродам возбуждения преобразователя возбуждения, преобразователь изгибает подвеску, на которой он расположен. Это изгибающее движение приводит в движение инерционную массу. Когда переменное напряжение привода установлено на подходящую частоту, инерционная масса будет подвергаться вращательным колебаниям в резонансе.
Пьезоэлектрические преобразователи, определяющие движение инерционной массы, в этом раскрытии называются датчиками считывания.Чувствительные преобразователи могут быть прикреплены либо к подвескам, которые связаны с той же инерционной массой, к которой прикреплен приводной преобразователь, либо к подвескам, которые связаны с другими инерционными массами, которые механически связаны с инерционной массой, приводимой в движение приводным преобразователем. Колебательное движение инерционной массы изгибает подвеску, на которой расположены сенсорные преобразователи, и это вызывает накопление заряда противоположного знака на сенсорных электродах по обеим сторонам преобразователя.Сигнал напряжения считывания, амплитуда которого пропорциональна амплитуде колебательного движения инертной массы, а частота совпадает с частотой колебаний инертной массы, может быть считана с электродов считывания.
Пьезоэлектрические преобразователи привода и сенсорные преобразователи могут быть расположены либо на отдельных подвесках, либо на одних и тех же подвесках, как более подробно описано ниже. Преобразователь иногда может использоваться как преобразователь привода, а иногда как преобразователь чувств.В этом раскрытии можно сказать, что преобразователь работает в «режиме возбуждения» в первом случае и в «режиме считывания» во втором случае.
РИС. 3 показаны три поперечных сечения изгибного пьезоэлектрического преобразователя для изгиба вне плоскости. Преобразователь включает в себя слой пьезоэлектрического материала и два электродных слоя, нанесенных на кремниевую подвеску 31 . Преобразователь имеет продолговатую форму в плоскости x-y. Преобразователь включает в себя первый электродный слой 34 , слой пьезоэлектрического материала 32 и второй электродный слой 33 .Слои 34 , 32 и 33 вместе образуют пьезоэлектрический преобразователь. Кремниевый луч 31 изгибается из плоскости xy, когда на электроды подается управляющее напряжение. И наоборот, сигнал считываемого напряжения может быть считан из электродных слоев , 33, и , 34, , если подвеска 31 изогнута из плоскости xy под действием внешней силы.
РИС. 4 показаны три поперечных сечения пьезоэлектрического преобразователя изгиба для изгиба в плоскости.Этот преобразователь включает в себя кремниевый луч 41 и пару первых электродных слоев 441 и 442 , один на верхней стороне слоя пьезоэлектрического материала 42 и один на нижней стороне (вверх и вниз относится к в этом случае в направлении оси z). Эти электроды спарены со вторыми электродными слоями 431 и 432 соответственно, как показано на рисунке. Слои 441 , 42 и 431 вместе образуют первый пьезоэлектрический преобразователь, а слои 442 , 42 и 432 вместе образуют второй пьезоэлектрический преобразователь.
Когда управляющие напряжения с противоположной полярностью прикладываются к двум датчикам, средняя деформация по оси Y равна нулю, поэтому датчик не изгибается из плоскости xy. Однако два преобразователя создают противоположные деформации в плоскости xy, которая изгибает кремниевый луч 41 в этой плоскости. Если преобразователи используются в качестве сенсорных преобразователей, изгиб в плоскости будет создавать разность напряжений между двумя преобразователями, а изгиб вне плоскости — нет.
Условные обозначения на фиг.3 и 4 будут использоваться во всем этом раскрытии, чтобы проиллюстрировать преобразователи для изгиба вне плоскости и изгиба в плоскости соответственно. Другими словами, один прямоугольник на подвеске будет использоваться для обозначения преобразователя вне плоскости, а два параллельных прямоугольника на подвеске противоположного цвета будут использоваться для обозначения преобразователя в плоскости. Эти два параллельных прямоугольника в основном будут называться в единственном числе, как один «преобразователь в плоскости», даже несмотря на то, что на самом деле конструкция представляет собой раздельную конструкцию, содержащую два преобразователя, как объяснено выше.Серый и белый цвета на датчиках указывают полярность.
Пьезоэлектрический слой ( 32 , 42 ), который может быть слоем нитрида алюминия (AlN), обычно не толще нескольких микрометров. Толщина кремниевой балки ( 31 , 41 ) может, например, составлять 50 мкм.
В резонаторах MEMS пьезоэлектрические преобразователи обычно не могут быть прикреплены непосредственно к инерционной массе, поскольку она слишком жесткая. Вместо этого они могут быть нанесены на пружины или балки, на которых подвешена инерционная масса, как объяснено выше.Следовательно, пьезоэлектрический преобразователь преобразует кинетическую энергию в пружину или балку или от них, а не в инерционную массу или от нее, как это обычно делают емкостные преобразователи. Это означает, что размеры подвесок становятся критически важными в пьезоэлектрических резонаторах.
Когда слой пьезоэлектрического материала изгибается под действием внешней силы, положительные заряды накапливаются на одной стороне слоя, а отрицательные — на другой. Периодически колеблющиеся изгибающие движения создают колеблющееся электрическое поле, которое можно измерить как сигнал переменного напряжения считывания от измерительного преобразователя.
Документ WO2011136972 раскрывает пьезоэлектрический вращающийся резонатор, в котором пьезоэлектрические преобразователи размещены на подвесках, которые удерживают инерционную массу от центральной точки крепления.
Подвески, на которых установлены сенсорные преобразователи, не обязательно изгибаются с равномерной кривизной по всей своей длине, когда инерционная масса находится в резонансных колебаниях. Режимы изгиба сенсорного преобразователя зависят от резонансной частоты резонатора, от размеров подвески и от того, как подвеска прикреплена к колеблющейся инерционной массе.
РИС. 5 иллюстрирует, как подвески 231 и 232 изгибаются в резонаторе предшествующего уровня техники, изображенном на фиг. 2, когда инерционная масса 21 совершает внеплоскостное вращение вокруг оси x и подвески жестко закреплены в первой и второй точках крепления 241 , 242 и 251 , 252 . Жесткое крепление во вторых точках крепления 251 , 252 заставляет внешние концы подтяжек 231 и 232 двигаться как направляемые концы.Другими словами, во вторых точках крепления 251 , 252 на подвески 231 и 232 воздействует не только сила точечной нагрузки, которая возникает из-за вращающейся инерционной массы, но также и нагрузка изгибающего момента, которая поддерживает подвеска под постоянным углом по отношению к инерционной массе 21 . Это заставляет подтяжки 231 и 232 изгибаться в S-образную форму, которая создает обратный заряд примерно на пути между точками крепления 241 , 242 и 251 , 252 , как показано на ФИГ. .5. Знаки на фиг. 5 представляют собой знак поверхностного напряжения вдоль подвески с каждой стороны от нее. Если верхняя поверхность подвески покрыта датчиком, знаки также могут обозначать знак заряда на каждой стороне датчика.
Это не оптимальный режим изгиба, поскольку сигнал напряжения считывания снижается, когда заряды противоположного знака нейтрализуются в каждом измерительном электроде. Проблема может быть уменьшена путем покрытия одной подвески двумя отдельными сенсорными преобразователями, чтобы противодействовать обратному заряду, но это требует сложных схем контакта.Та же проблема возникает при вращении в плоскости. Жестко закрепленные подвески 231 и 232 принимают S-образную форму в плоскости xy, поскольку инерционная масса вращается вокруг оси z.
Другая проблема, которая возникает из-за негибкого крепления и S-образного изгиба, заключается в том, что зависимость между внешней силой и смещением подвески становится нелинейной. Другими словами, изгиб не характеризуется единственной жесткостью пружины. В случае преобразователя возбуждения и колебаний большой амплитуды, возникающих при резонансе, нелинейность будет понижать резонансную частоту колебаний при увеличении амплитуды.Этот эффект является нежелательным в приложениях, где стабильность частоты или слежения за частоту между двумя резонаторами направлены на, как это имеет место для эталонных генераторов и гироскопических датчиков. Кроме того, потери энергии будут увеличиваться, и, таким образом, эффективное значение Q будет уменьшаться из-за нелинейности, поскольку часть энергии колебаний необратимо преобразуется в более высокие частоты гармоник.
Третья проблема современной подвески и крепления — это относительно высокая жесткость пружины, создаваемая S-образным режимом изгиба подвески.Было бы полезно уменьшить жесткость пружины для заданных размеров пружины, поскольку это позволило бы уменьшить площадь устройства для достижения той же резонансной частоты с устройством меньшего размера.
Первая техническая проблема, связанная с режимами изгиба подвески, была описана выше с точки зрения датчиков. Другими словами, предполагалось, что инерционная масса создает внешнюю силу, которая определенным образом изгибает подвеску. Однако те же технические проблемы возникают в приводных преобразователях, поскольку инерционная масса не может приводиться в резонансное колебание, если подвеска не принимает режим изгиба, который диктуется резонансными колебаниями инерционной массы.Когда колебания инертной массы приближаются и в конечном итоге достигают резонанса, изгиб подвески и, как следствие, накопление заряда, будет почти полностью определяться этими колебаниями.
Другими словами, хотя механическое срабатывание преобразователя привода и сила, возникающая от резонирующей инерционной массы, всегда действуют вместе и сгибают подвеску вместе, сила, возникающая от резонирующей инерционной массы, является намного более сильным определяющим фактором, когда инерционная инерционная масса масса колеблется в резонансе.Режим гибки должен соответствовать резонирующему движению.
Технические проблемы, описанные выше, частично замедлили разработку пьезоэлектрических вращающихся резонаторов. Преобладали резонаторы с электростатическим приводом и считываемые резонаторы, даже несмотря на то, что они требуют высоких напряжений смещения, занимают большую площадь поверхности, чем пьезоэлектрические резонаторы, и создают емкостной выходной сигнал, который обратно пропорционален рабочей частоте. Пьезоэлектрическое преобразование может улучшить характеристики резонатора по всем этим параметрам, но конструкция подвески становится критически важной.Было бы полезно для работы как приводных преобразователей, так и сенсорных преобразователей, если бы режим резонансных изгибов подвески демонстрировал более равномерное распределение заряда по длине преобразователя.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯЦелью настоящего раскрытия является создание устройства и способа для устранения вышеуказанных недостатков.
Цели раскрытия достигаются с помощью устройств, которые характеризуются тем, что заявлено в независимых пунктах формулы изобретения.Предпочтительные варианты осуществления раскрытия раскрыты в зависимых пунктах формулы изобретения.
Настоящее изобретение основано на идее подвешивания инерционной массы к одной или более точкам крепления с помощью односторонних консольных устройств подвески, где инерционная масса подвешена только на одной продольной подвеске. Однако точки крепления и подвески следует размещать в подходящих местах по отношению к эффективному центру тяжести инерционной массы, чтобы оптимизировать режим изгиба подвески.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙРаскрытие будет описано более подробно со ссылкой на прилагаемые чертежи, на которых
ФИГ. 1 изображен простой резонатор.
РИС. 2 показан простой резонатор с пьезоэлектрическим приводом.
РИС. 3 изображен пьезоэлектрический преобразователь на подвесе, расположенный вне плоскости.
РИС. 4 показан плоский пьезоэлектрический преобразователь на подвеске.
РИС. 5 иллюстрирует режим изгиба подвески известного уровня техники, когда инерционная масса колеблется в резонансе.
РИС. 6 показан вращающийся резонатор согласно варианту осуществления резонатора.
РИС. 7 также показан вращающийся резонатор согласно варианту осуществления резонатора.
РИС. 8 показано продольное расстояние между точкой крепления и эффективным центром тяжести.
РИС. 9 показан изгибный режим подвески, когда продольное расстояние от точки крепления до поперечной линии, проходящей через эффективный центр тяжести, находится в заявленном диапазоне.
РИС. 10 иллюстрирует альтернативную форму инертной массы.
РИС. 11 также иллюстрирует альтернативную форму инертной массы.
РИС. 12 также иллюстрирует альтернативную форму инертной массы.
РИС. 13 a -13 c иллюстрируют альтернативные формы инерционных масс, прикрепленных к двум подвескам.
РИС. 14 a -14 b иллюстрируют подтяжки, покрытые несколькими датчиками.
РИС.15, , -15, , — первый вариант реализации резонаторной системы.
РИС. 16 показан второй вариант реализации резонаторной системы.
РИС. 17 показан первый вариант осуществления гироскопа.
РИС. 18 показан первый вариант гироскопа с альтернативной конфигурацией.
РИС. 19 также показан первый вариант осуществления гироскопа с альтернативной конфигурацией.
РИС. 20 также показан первый вариант гироскопа с альтернативной конфигурацией.
РИС. 21 показан второй вариант осуществления гироскопа.
РИС. 22 показан второй вариант гироскопа с альтернативной конфигурацией.
РИС. 23 также показан второй вариант гироскопа с альтернативной конфигурацией.
ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯВариант осуществления резонатора
В этом раскрытии описывается вращающийся резонатор, содержащий подложку с одной или несколькими точками крепления и инерционную массу с первым продольным концом и вторым продольным концом.Инерционная масса подвешена к одной или нескольким точкам крепления одной или несколькими подвесками, проходящими от одной или нескольких точек крепления к первому или второму продольному концу инерционной массы. Одна или несколько подвесок покрыты структурой пьезоэлектрического преобразователя, сконфигурированной для приведения в действие или обнаружения колебательного вращательного движения инерционной массы. К любой из точек крепления прикрепляется не более одной подвески. Продольная длина каждой подвески с покрытием равна 0.В 5-1 раз больше продольной длины инертной массы.
Когда пьезоэлектрические преобразователи, описанные в этом раскрытии, используются в режиме считывания, наилучшее отношение сигнал / шум может быть достигнуто, когда емкость преобразователя равна сумме емкости внешних соединений и входной емкости усилителя, которая обычно составляет несколько пФ. Емкость преобразователя определяется его площадью и толщиной пьезоэлектрического слоя. Можно показать, что если пьезоэлектрический слой равен 0.Слой AlN толщиной 8 мкм, то соотношение сторон преобразователя в плоскости xy (другими словами, его продольная длина в направлении y, деленная на его поперечную ширину в направлении x) должно быть в диапазоне 5-20 предпочтительно в диапазоне 10-15 для достижения емкостей преобразователя в диапазоне 2-5 пФ на типичных частотах резонатора MEMS (20-50 кГц) с инерционной массой, соотношение сторон которой (2-20, предпочтительно 5-10) и толщина ( 20-50 мкм) находятся в практических пределах. Требуемая площадь преобразователя в плоскости xy будет приблизительно равна 0.05 мм 2 со слоем AlN толщиной 0,8 мкм. Эта область может быть получена, например, с размерами 1000 мкм × 50 мкм. Пьезоэлектрические преобразователи, описанные в этом раскрытии, и подвески, на которые они нанесены, поэтому имеют продолговатую форму с соотношением сторон в диапазоне 5-20, предпочтительно в диапазоне 10-15.
Размер и размеры инерционной массы могут быть выбраны более свободно, поскольку к массе, если она большая, можно прикрепить несколько подвесок, как показано в этом раскрытии.Инерционные массы, изображенные в этом раскрытии, также имеют продолговатую форму, но их соотношение сторон может быть меньше, чем соотношения сторон преобразователей и подвесов. Инерционная масса может иметь два продольных конца на двух противоположных сторонах точки крепления. Продольные концы разделены в направлении y продольной длиной. Инерционная масса также может иметь две поперечные стороны на двух противоположных сторонах точки крепления, разделенных в направлении x поперечной шириной. Однако в некоторых вариантах осуществления инерционная масса может быть асимметричной, так что она имеет только одну поперечную сторону с одной стороны от точки крепления.
РИС. 6 показан первый вращающийся резонатор. Резонатор содержит инертную массу 61 и точку крепления 62 . Инерционная масса имеет первый продольный конец 691 и второй продольный конец 692 . Продольная длина инерционной массы 61 — это расстояние L 1 между двумя продольными концами. Инерционная масса 61 подвешена к точке крепления 62 на подвеске 63 .Подвеска прикреплена к точке крепления в первой точке крепления 64 и к инерционной массе во второй точке крепления 65 . Продольная длина подвески в данном случае равна расстоянию L 2 между первой и второй точками крепления. Подвеска покрыта структурой пьезоэлектрического преобразователя, сконфигурированной для изгиба в плоскости. Подвеска 63 проходит в продольном направлении y от точки крепления 62 к первому продольному концу 691 инерционной массы 61 .К точке крепления 62 прикреплена только одна подвеска 63 , поэтому инерционная масса 61 подвешена только на одной подвеске. Продольная длина инерционных масс и подвесок определяется вышеописанным образом во всех вариантах осуществления, описанных в этом раскрытии, даже несмотря на то, что расстояния L 1 и L 2 явно не указаны на каждом чертеже.
РИС. 7 показан второй вращающийся резонатор согласно этому варианту осуществления резонатора.Компоненты, обозначенные ссылочными номерами 71 — 75 и 791 — 792 , соответствуют компонентам, указанным ссылочными номерами 61 — 65 и 691 — 692 в первом резонаторе. Единственное отличие от первого вращающегося резонатора состоит в том, что подвеска покрыта структурой пьезоэлектрического преобразователя, сконфигурированной для изгиба вне плоскости.
Когда к какой-либо точке крепления прикреплено не более одной подвески, ни одна из точек крепления не имеет двусторонней конструкции подвески, показанной на фиг.2, где одна подвеска проходит от точки крепления к первому продольному концу инерционной массы, а другая подвеска проходит от той же точки крепления к второму продольному концу инерционной массы. Другими словами, количество подвесок прикреплены к каждой точке крепления является одним, или, если подложка содержит некоторые опорные точки, которые не находятся в активном использовании, то число подвесов, прикрепленных к каждой точке крепления либо равен нулю, либо один. В двухсторонней подвеске изгиб каждой подвески частично ограничивается другой подвеской, прикрепленной к той же точке крепления, тогда как в односторонней подвеске каждая подвеска действует больше как консоль, режим изгиба которой определяется только резонансом. движение инертной массы.
Первое техническое преимущество, вытекающее из использования односторонней консольной подвески, когда к любой точке крепления прикрепляется не более одной подвески, а продольная длина каждой подвески с покрытием превышает половину продольной длины инерционной массы, но короче, чем продольная длина инерционной массы, заключается в том, что жесткость пружины подвески меньше в односторонней консольной подвеске, чем в двухсторонней подвеске на противоположных сторонах точки крепления.Второе преимущество по сравнению с двусторонними устройствами подвески заключается в том, что те же резонансные частоты могут быть получены с резонатором, общая площадь поверхности которого в плоскости инерционной массы меньше. Можно показать, с разумными предположениями о толщине и ширине подвески, что резонатор с односторонней консольной подвеской может иметь на 50% меньше площади поверхности в плоскости масс, чем резонатор с двусторонней системой подвески, и все же получить такая же резонансная частота.
Размеры подвески существенно влияют на отношение сигнал / шум, как обсуждалось выше.Однако размер инерционной массы также должен быть достаточно большим для создания достаточного изгибающего момента во второй точке крепления подвески. Когда продольная длина каждой подвески с покрытием в 0,5-1 раза больше продольной длины инерционной массы, площадь поверхности подвески и изгибающий момент во второй точке крепления становятся достаточно большими, чтобы генерировать сильный сигнал в подвеске.
Дополнительные преимущества могут быть получены, если эффективный центр тяжести резонатора совпадает или, по крайней мере, приблизительно совпадает либо с осью вращения резонатора, либо с поперечной линией, которая пересекает ось вращения резонатора.Если подвески имеют равные профили поперечной ширины и вертикальной высоты, продольное расстояние на каждой подвеске с покрытием от точки крепления, к которой она прикреплена, до поперечной линии, проходящей через эффективный центр тяжести инерционной массы, может, например, быть равным 0,4-0,6 раза, или 0,49-0,51 раза, длины L 2 подвески с покрытием. Когда ось вращения инерционной массы совпадает с центром тяжести, движение является чистым вращением, то есть инерционная масса вообще не имеет линейного перемещения, а подвеска имеет постоянный изгибающий момент во всех местах.
РИС. 8 показано продольное расстояние между точкой крепления 82 и эффективным центром тяжести (ECOG) инерционной массы. Линия a 1 — это поперечная линия, которая проходит через эффективный центр тяжести, а 2 — это продольная линия, которая проходит через эффективный центр тяжести. Точка привязки 82 расположена на линии 2 на фиг. 8. Точки крепления могут не располагаться на этой линии в вариантах осуществления, в которых инерционная масса подвешена на нескольких подвесках, как поясняется ниже.Расстояние от точки крепления 82 до поперечной линии a 1 составляет 0,5 L 2 , где L 2 — длина подвески 83 . Расстояние от противоположного конца подвески до поперечной линии a 1 также составляет 0,5 L 2 .
РИС. 9 иллюстрирует режим изгиба подвески с покрытием 73 , когда продольное расстояние от точки крепления 72 , к которой она прикреплена, до поперечной линии, проходящей через эффективный центр тяжести, находится в заявленном диапазоне, а инерциальная масса 71 вращается вне плоскости.Кривизна подвески 73 становится постоянной по всей длине за счет постоянного изгибающего момента. В преобразователе на подвеске с покрытием постоянная кривизна приводит к равномерному поверхностному напряжению и равномерному накоплению заряда по длине подвески 73 , как показано на фиг. 9 с равномерно распределенными знаками плюс и минус по длине подвески. Такое же равномерное накопление заряда будет производиться в подвеске с покрытием 63 , когда инерционная масса 61 подвергается колебаниям в плоскости.
Термин «эффективный центр тяжести» относится к тому факту, что инерционная масса и подвеска движутся вместе, и весом подвески нельзя пренебречь по сравнению с весом инерционной массы. Однако, поскольку один конец подвески зафиксирован, только часть подвески будет вносить подвижный компонент массы в колебательное движение. Для сбалансированного вращения вокруг оси вращения необходимо, чтобы объединенный эффективный центр тяжести подвески и инерционной массы находился на оси вращения или, по крайней мере, близко к ней.Эффективный центр тяжести должен быть рассчитан с помощью физической модели резонатора.
Термин «эффективный» относится, во-первых, к тому факту, что дополнительная масса, вкладываемая подвеской в общую подвижную массу, изменяется в зависимости от степени ее изгиба. Подвижный вес, который добавляется к резонатору из-за движения подвески, может быть смоделирован как эффективная масса, расположенная во второй точке крепления, где подвеска прикреплена к инерционной массе, такой как точка 75 на фиг.9. Эта расчетная поправка учитывает дополнительную массу, которая становится подвижной в резонаторе из-за кинетической энергии частично движущейся подвески, и добавленную кинетическую энергию из-за возможной гибкости инертной массы.
Во-вторых, термин «эффективный» также относится к тому факту, что инерционная масса не может быть полностью жесткой в продольном направлении, и, возможно, придется рассчитать дополнительный весовой компонент, зависящий от степени изгиба, чтобы учесть эту гибкость. , особенно при внеплоскостных колебаниях.Например, в инерционных массах, изображенных на фиг. 9, часть инерционной массы, которая находится рядом со вторым продольным концом 792 инертной массы (и вдали от второй точки крепления 75 , где подвеска прикреплена к инерционной массе), может немного отклоняться от продольной линия симметрии инертной массы при колебаниях инертной массы. Подвижный груз, который добавляется к резонатору в результате этого изгиба, можно моделировать как эффективную массу, расположенную на втором продольном конце 792 .
Эффективный центр тяжести инерционной массы во время колебаний в плоскости может не совпадать с эффективным центром тяжести во время колебаний вне плоскости, и ни один из них не может совпадать с центром тяжести, когда инерционная масса все еще остается . Следовательно, может оказаться невозможным заставить осевую линию подвески с покрытием пересекать эффективный центр тяжести как в плоскости, так и вне плоскости. Другими словами, вспоминая, что резонатор на фиг. 6 колеблется в плоскости, в то время как резонатор на фиг.7 колеблется вне плоскости, даже если инерционные массы 61 и 71 будут иметь точно одинаковое распределение масс, а подвески с покрытием 63 и 73 также будут иметь точно одинаковое распределение масс, подвески 63 и 73 , возможно, придется разместить иначе по отношению к инерционной массе, чтобы продольное расстояние от точки привязки до поперечной линии, проходящей через эффективный центр тяжести инерционной массы, было равным или почти равным нулю.В 5 раз длиннее подвески с покрытием.
Подвески, покрытые датчиками только для одного режима колебаний (в плоскости или вне плоскости), могут быть сконструированы таким образом, чтобы расположение эффективного центра тяжести было оптимизировано для этого режима. В вариантах осуществления, в которых преобразователь в плоскости и преобразователь вне плоскости размещены на одной и той же подвеске, таких как те, что показаны на фиг. 14 a — 14 b, 19 и 20 ниже, расположение эффективного центра тяжести может потребоваться оптимизировать для одного режима колебаний (в плоскости или вне плоскости) при за счет другого.Если такие подвески используются в гироскопе, то колебания, соответствующие режиму считывания, могут быть приоритетными.
Техническая выгода от размещения подвески с покрытием таким образом, чтобы продольное расстояние на каждой подвеске с покрытием от точки крепления, к которой она прикреплена, до поперечной линии, проходящей через эффективный центр тяжести инерционной массы, находилось в пределах заявленный диапазон состоит в том, что ось вращения колебательного движения и середина подвески с покрытием лежат либо на одной и той же поперечной линии, либо очень близко к ней.Это приводит к тому, что поступательные силы, создаваемые инерционной массой на подвеске с покрытием во второй точке крепления, равны нулю или очень близки к нулю.
Изгибающий режим подвески с покрытием можно тогда охарактеризовать как почти чистое вращение, когда инерционная масса сообщает подвеске только изгибающий момент во второй точке крепления, когда она колеблется в резонансе. Это движение сгибает подвеску в параболическую форму, потому что локальный радиус кривизны подвески пропорционален локальному изгибающему моменту, а локальный изгибающий момент остается постоянным по длине подвески, когда она закреплена в первой точке крепления и повернута. только изгибающим моментом во второй точке крепления.
Другими словами, когда расстояние на датчике с покрытием от точки крепления до поперечной линии, проходящей через эффективный центр тяжести, находится в заявленном диапазоне, и когда инерционная масса находится в резонансных колебаниях, может быть получен сильный сенсорный сигнал. считываться с сенсорного преобразователя на подвеске, поскольку накопление заряда равномерно по всей длине, как показано на фиг. 9. И наоборот, если преобразователь используется в качестве преобразователя привода, колебательное движение, передаваемое напряжением привода, будет согласовано с движением, передаваемым резонирующей инерционной массой, поскольку изгиб с равномерной кривизной является нормальным режимом изгиба для неподключенного преобразователя изгиба.
Преимущества, полученные за счет равномерного распределения заряда в преобразователе, включают в себя строго линейные режимы изгиба для подвески с низкой жесткостью пружины, а также большие емкости пьезоэлектрического преобразователя и меньший размер резонатора. В приложениях с гироскопом и тактовым генератором эти преимущества обеспечивают малое сопротивление движению, высокие коэффициенты связи, надежный запуск и высокое отношение сигнал / шум в сигнале считываемого напряжения, а также меньшие размеры.
Другое преимущество изобретения состоит в том, что влияние внешней линейной вибрации на резонансное движение равно нулю, если движение инерционной массы представляет собой чистое вращение.Это может быть использовано для повышения устойчивости резонаторов к вибрации.
Еще одно преимущество конструкции, в которой подвески прикреплены к анкерам и только к одному концу инерционной массы, заключается в том, что угол поворота инерционной массы является очень линейной функцией приложенного крутящего момента. Это связано с тем, что изгиб пружины не вызывает напряжения в пружине, которое увеличивало бы жесткость пружины при увеличении угла. Линейные резонаторы не изменяют резонансную частоту при большой амплитуде и низких механических потерях.
Односторонние консольные подвесные устройства, описанные в этом раскрытии, также позволяют использовать меньшие резонаторы, чем двусторонние устройства предшествующего уровня техники, изображенные на фиг. 2. Можно показать, что резонатор с односторонней консольной подвеской, который имеет режим резонанса, когда инерционное тело вращается вокруг оси, проходящей через его центр тяжести, можно сделать на 50% меньше, чем резонатор с двухсторонней подвеской. устройство боковой подвески, которое имеет резонансный режим с той же частотой, когда инерционное тело также вращается вокруг оси, проходящей через его центр тяжести.
Предпочтительные интервалы продольного расстояния на каждой подвеске с покрытием от точки крепления, к которой она прикреплена, до поперечной линии, проходящей через эффективный центр тяжести инерционной массы, которые составляют 0,49-0,51 или 0,4-0,6 раза L 2 , мотивированы следующим образом. Небольшие отклонения от 0,5 L 2 приведут к тому, что инерционная масса будет передавать небольшие поступательные силы каждой подвеске с покрытием в ее второй точке крепления, что может сделать инерционную массу восприимчивой к внешней линейной вибрации.Приблизительный предел для обеспечения чистой нагрузки изгибающего момента в подвеске для обоих режимов колебаний — это когда расстояние от средней точки до поперечной линии, которая проходит через эффективный центр тяжести, составляет менее 1% длины подвески с покрытием. Приблизительный предел потери преимуществ, связанных с равномерным накоплением заряда в преобразователе, — это расстояние, равное 10% от длины подвески с покрытием.
Смещение эффективного центра тяжести (ECOG) от оси вращения (RA) также делает резонатор более чувствительным к внешним воздействиям.Ось вращения инерционной массы является поперечной, другими словами, параллельной оси x при изгибе вне плоскости. Продольное расстояние, в дальнейшем называемое расстоянием ECOG-RA, в этом случае может быть измерено от поперечной линии, которая проходит через эффективный центр тяжести, до оси вращения (RA). Когда резонатор колеблется в плоскости, ось вращения инерционной массы параллельна оси z. В этом случае расстояние ECOG-RA может быть измерено от поперечной линии, которая проходит через эффективный центр тяжести (ECOG) резонатора, до поперечной линии, которая проходит через ось вращения (RA) инерционной массы.
Если расстояние ECOG-RA отличное от нуля и внеплоскостной резонатор подвергается внешней линейной вибрации, то инерционная масса будет испытывать крутящий момент вокруг своей оси вращения. Если резонатор используется в гироскопе, соединенном с другим резонатором в дифференциальном режиме, крутящий момент заставит обе инерционные массы вращаться в одном направлении вокруг своей оси вращения, и возмущения выходного сигнала, создаваемые линейным вибрационным ударом в двух преобразователях, будут отменяют друг друга.Однако, если сигнал слишком велик, это может привести к перегрузке синфазной способности входного усилителя. Любая асимметрия в датчиках, например, из-за производственные допуски, будут производить дифференциальный сигнал, который усиливается как выходной сигнал гироскопа. Если, с другой стороны, расстояние ECOG-RA отличное от нуля и тот же гироскоп подвергается внешней вращательной вибрации вокруг своей продольной оси, то крутящий момент заставит две инерционные массы вращаться в противоположных направлениях, и возмущения выходного сигнала будут добавлены друг к другу.В этом случае возмущение невозможно отделить от выходного сигнала из-за силы Кориолиса.
Расстояние ECOG-RA, которое вызывает возмущающий крутящий момент, предпочтительно должно быть минимизировано, но не всегда возможно уменьшить его точно до нуля из-за ограничений, обусловленных производственными допусками. Кроме того, как объяснялось выше, эффективный центр тяжести при колебаниях вне плоскости может не точно совпадать с эффективным центром тяжести при колебаниях в плоскости, поэтому расстояние ECOG-RA не может быть сведено к нулю для обоих режимов вращения. в инерционной массе, которая настроена на одновременные колебания в плоскости и вне плоскости.Однако приблизительный предел для полного исключения возмущений состоит в том, что расстояние ECOG-RA для обоих режимов колебаний должно быть уменьшено до менее 1% от длины подвески с покрытием. Приблизительный предел, при котором резонатор становится слишком чувствительным к внешним вибрациям, — это когда расстояние ECOG-RA равно 10% от длины подвески с покрытием.
Подвеска во вращающемся резонаторе может иметь ровный поперечный профиль ширины в x-направлении и ровный вертикальный профиль высоты в z-направлении по всей продольной длине подвески.В качестве альтернативы, подвеска может иметь неравномерный профиль ширины или высоты, при этом ширина / высота варьируются в зависимости от расстояния вдоль подвески. Неровные профили превращают момент инерции в функцию расстояния, а центр вращения подвески и инерционная масса в этом случае также будут зависеть от профилей ширины и высоты. Например, если высота изменяется линейно как функция расстояния, можно показать, что центр вращения будет отклоняться от центра подвески примерно на 10%, если соотношение между моментами инерции на двух концах балки равно три.
Другими словами, если подвеска имеет одинаковые профили ширины и высоты, обычно предпочтительно придавать подвеске продольный размер и положение, в котором находится центральная линия подвески, которая является поперечной линией, проходящей через продольную координату 0,5 L 2 , пересекает эффективный центр тяжести и совпадает с осью вращения (если инерционная масса колеблется в плоском режиме) или с поперечной линией, которая пересекает ось вращения (если инерционная масса колеблется вне плоскости). самолетный режим).Отклонения в 1% по продольной координате обычно приводят к незначительным потерям, а отклонения более 10% приводят к вредным потерям, превышающим выгоды. Однако может потребоваться смещение подвески из этого положения, если профиль подвески по высоте или ширине неровный. Общее требование для получения почти чистой нагрузки изгибающего момента во второй точке крепления подвески состоит в том, чтобы расстояние либо от оси вращения (если инерционная масса колеблется в режиме в плоскости), либо от поперечной линии, пересекающей вращение. оси (если инерционная масса колеблется в неплоскостном режиме) к эффективному центру тяжести резонатора не должна превышать 0.01-кратная длина любой из подвесок с покрытием в любой момент колебательного цикла. Как упоминалось ранее, приблизительный предел, при котором недостаток чувствительности к внешним вибрациям начинает перевешивать преимущества, описанные выше, — это когда расстояние превышает 0,1 длины подвески с покрытием в некоторых точках цикла колебаний. Компьютерное моделирование обычно требуется для точного определения эффективного центра тяжести.
На предыдущих рисунках инерционная масса состоит из одного внутреннего отверстия и одной точки крепления, а одна подвеска расположена в этом внутреннем отверстии.Однако инерционная масса не обязательно должна полностью окружать точку крепления и подвески. Фиг. 10 и 11 показаны инерционные массы 101 , 111 , которые имеют внешние отверстия 106 и 116 . Точки крепления 102 , 112 и подвески 103 , 113 расположены в этих внешних отверстиях 106 , 116 не окружены со всех сторон инерционными массами 101 , 111 .Такие формы могут, например, облегчить электрический контакт с преобразователями на подвесках. ИНЖИР. 12 показана третья альтернативная форма инерционной массы с одним внутренним отверстием 117 и двумя внешними отверстиями 1161 и 1162 . Точка крепления 112 и подвеска 113 размещены во внутреннем отверстии 117 . Благодаря выступам в каждом углу, которые образуют внешние отверстия, площадь инерционной массы была увеличена без смещения центра тяжести.Подвески 103 , 113 могут быть покрыты датчиками для колебаний как в плоскости, так и вне плоскости.
Резонатор может содержать несколько подвесок и точек крепления. Фиг. 13 a, 13 b и 13 c — все иллюстрируют варианты, в которых инерционная масса 131 подвешена на двух подвесках 1331 , 1332 , прикрепленных к двум отдельным точкам крепления 1321 , 1322 .Подвески 1331 , 1332 могут быть покрыты датчиками для колебаний как в плоскости, так и вне плоскости.
РИС. 13 a показано устройство, в котором инерционная масса содержит два внешних отверстия 1361 , 1362 , внутри которых размещены точки крепления 1321 , 1322 и подвески 1331 , 1332 . ИНЖИР. 13 b иллюстрирует устройство, в котором инерционная масса содержит два внутренних отверстия 1371 , 1372 .Точка анкера 1321 и подвеска 1331 размещены во внутреннем проеме 1371 , а точка анкера 1322 и подвеска 1332 — во внутреннем проеме 1372 . ИНЖИР. 13 c иллюстрирует конструкцию, в которой инерционная масса содержит одно внутреннее отверстие 137 , внутри которого размещены обе точки крепления 1321 , 1322 и подвески 1331 , 1332 .Инерционная масса также может содержать несколько внутренних отверстий и несколько внешних отверстий с одной или несколькими подвесками в каждом отверстии.
На ФИГ. 13 a -13 c подвески 1331 и 1332 проходят к одному и тому же продольному концу инерционной массы от их соответствующих точек крепления 1321 и 1322 до инерционной массы 131 . В качестве альтернативы, точки крепления 1321 и 1322 могут быть размещены на противоположных сторонах как поперечной, так и продольной линий симметрии a 1 и 2 , показанных на фиг.8, так что подвески 1331 и 1332 проходят к противоположным продольным концам от их соответствующих точек крепления. Подвеска 1331 может проходить к первому продольному концу 1391 , а подвеска 1332 к второму продольному концу 1392 .
На одну подвеску можно нанести несколько датчиков. ИНЖИР. 14 a иллюстрирует резонатор, в котором одна подвеска 1431 была покрыта как преобразователем в плоскости 1481 , так и преобразователем вне плоскости 1482 .Каждый датчик занимает половину подвески. Резонатор может одновременно приводиться как в плоскостное, так и во внеплоскостное колебания.
РИС. 14 b также иллюстрирует резонатор, в котором одна подвеска 1432 была покрыта как преобразователем в плоскости 1483 , так и преобразователем вне плоскости 1484 . В этом случае преобразователи проходят параллельно по всей длине подвески, так что преобразователь вне плоскости расположен между двумя разделенными преобразователями , 1483, , которые вместе составляют преобразователь в плоскости.Резонатор может одновременно приводиться как в плоскостное, так и во внеплоскостное колебания.
Частоты резонанса в плоскости и вне плоскости равны или очень близки к равенству, если вертикальная толщина подвески 1431 , 1432 в направлении z равна его поперечной ширине в направлении x .
Резонаторы, описанные и проиллюстрированные выше, содержат подвески, которые представляют собой прямые балки одинаковой ширины, которые проходят на всем пути от точки крепления до инерционной массы.Также можно подготовить изгиб на конце подвески, который соединяет подвеску с инерционной массой во второй точке крепления (например, точки 65 и 75 на фиг.6 и 7 соответственно). Изгибы могут иметь гибкость в плоскости и на скручивание. Также могут использоваться гнутые балки и комбинации изгибов.
Первый вариант осуществления системы резонаторов
Резонаторы с единственной инерционной массой восприимчивы к возмущениям, возникающим из-за внешних колебаний.Вращательные резонаторы нечувствительны к линейным внешним колебаниям, но все же подвержены вращательным колебаниям. Они также могут страдать от акустических потерь из-за механической связи между инерционной подвеской и неподвижным основанием резонатора. Это соединение возникает из-за крутящего момента, прилагаемого подвесками к точке крепления и, следовательно, к неподвижному основанию, которое на практике не будет полностью закреплено, но имеет большую, но не бесконечную массу и, следовательно, конечный момент инерции. Если неподвижное основание может даже немного вращаться, энергия будет вытекать из резонатора и может быть преобразована в тепло, если опора неподвижного основания прикреплена с помощью клея или другого акустически рассеивающего материала или прикреплена к акустически рассеивающему материалу, например в виде пластика или композитного материала.Эффект будет заключаться в понижении и значительном изменении добротности резонатора в зависимости от свойств материалов крепления. Эти проблемы можно обойти в резонаторных системах с двумя инерционными массами. Две инерционные массы могут быть механически связаны друг с другом для синхронного колебания. Повышенная надежность и уменьшение потерь могут быть получены путем приведения двух инерционных масс в противофазное колебание, когда в любой момент времени одна масса вращается по часовой стрелке вокруг данной оси, когда другая вращается с одинаковой угловой скоростью против часовой стрелки вокруг параллельной оси, и наоборот.Крутящие моменты, прилагаемые двумя резонаторами к неподвижному основанию, будут равны, но противоположны и будут гасить друг друга. Те же преимущества могут быть получены на стороне считывания дифференциального сигнала с пьезоэлектрических преобразователей. Воздействие внешних колебаний на каждый резонатор будет одинаковым, и при дифференциальном считывании они будут гасить друг друга. В резонаторной системе можно использовать любой из описанных выше резонаторов.
В первом варианте осуществления резонаторной системы система вращающегося резонатора с первым и вторым резонаторами содержит подложку с одной или несколькими первыми точками крепления и одной или несколькими вторыми точками крепления, а также первую и вторую инерционные массы, которые механически связаны друг с другом.Обе инерционные массы содержат первый продольный конец и второй продольный конец. Первая инерционная масса подвешена к одной или нескольким первым точкам крепления одной или несколькими первыми подвесками, проходящими от одной или нескольких первых точек крепления к первому или второму продольному концу первой инерционной массы. Вторая инерционная масса подвешена к одной или нескольким вторым точкам крепления одной или несколькими вторыми подвесками, проходящими от одной или нескольких вторых точек крепления к первому или второму продольному концу второй инерционной массы.По меньшей мере, один из первых подвесов и, по меньшей мере, один из вторых подвесов покрыт структурой пьезоэлектрического преобразователя, сконфигурированной для приведения в действие или обнаружения колебательного вращательного движения в инерционной массе, к которой он прикреплен. К одной или нескольким точкам крепления прикрепляется не более одной подвески. Продольная длина каждой подвески с покрытием в 0,5-1 раза больше продольной длины инерционной массы, к которой она прикреплена.
По причинам, указанным выше, либо ось вращения каждого резонатора, либо поперечная линия, которая пересекает ось вращения каждого резонатора, предпочтительно должна пересекать или, по крайней мере, проходить очень близко к эффективному центру тяжести упомянутого резонатора.Расстояние от оси / линии до эффективного центра тяжести предпочтительно не должно превышать 0,01 длины любой из подвесок с покрытием в любой момент колебательного цикла.
РИС. 15 a -15 d иллюстрируют резонаторные системы, в которых количество точек крепления равно двум, а количество подвесок также равно двум. Любой из проиллюстрированных выше резонаторов может быть реализован в системе резонаторов, и, таким образом, количество точек крепления и количество подвесок можно увеличить без увеличения количества резонаторов.Проиллюстрированные резонаторные системы содержат первую точку крепления 1521 и первую подвеску 1531 , прикрепленную от ее первой точки крепления к этой точке крепления 1521 . Первая подвеска 1531 прикреплена от второй точки крепления к первой инерционной массе 1511 . Соответственно, вторая подвеска 1532 прикреплена от своей первой точки крепления ко второй точке крепления 1522 и от ее второй точки крепления ко второй инерционной массе 1512 .Обе инерционные массы имеют первый продольный конец 1591 и второй продольный конец 1592 .
Две инерционные массы 1511 и 1512 могут быть механически связаны друг с другом и синхронизированы, например, с одной торсионной пружиной 1571 для изгиба вне плоскости (как показано на фиг.15 a) и 15 b ), а также с одной изгибающей пружиной 1572 для изгиба в плоскости (РИС. 15 c и 15 d ).Также могут использоваться другие механизмы сцепления.
На ФИГ. 15 a, первая подвеска 1531 и вторая подвеска 1532 проходят к первым продольным концам их соответствующих инерционных масс 1511 и 1512 от их соответствующих точек крепления 1521 и 1522 . Преобразователи на первой подвеске 1531 и преобразователь на второй подвеске 1532 имеют противоположную полярность, что показано их окраской.Когда оба датчика приводятся в действие одним и тем же сигналом напряжения возбуждения, эта установка преобразователя будет вызывать противофазные колебания в двух инерционных массах 1511 и 1512 , так что одна масса вращается по часовой стрелке вокруг оси x, когда другая вращается против по часовой стрелке и наоборот. Сигнал дифференциального напряжения считывается с датчиков в режиме считывания.
Противофазное колебание можно альтернативно создать с помощью преобразователя, показанного на фиг.15 b, , где точки привязки 1521 и 1522 имеют разные координаты y. Первая подвеска 1531 проходит по направлению к первому продольному концу 1591 первой инерционной массы 1511 , а вторая подвеска 1532 проходит по направлению ко второму продольному концу 1592 второй инерционной массы 1512 . Другими словами, первая и вторая подвески 1531 и 1532 проходят в противоположных продольных направлениях от их соответствующих точек крепления 1521 и 1522 .На этот раз датчики на первом подвесе 1531 и датчик на втором подвесе 1532 имеют одинаковую полярность, что видно по их окраске. Когда оба датчика приводятся в действие одним и тем же сигналом напряжения возбуждения, эта установка преобразователя будет вызывать противофазные колебания в двух инерционных массах 1511 и 1512 .
Те же изменения могут быть применены к установкам преобразователей, которые возбуждают и обнаруживают колебания в плоскости, как показано на фиг.15 c и 15 d. Противофазное колебание может быть получено либо путем размещения разделенных преобразователей в противоположном порядке на двух подвесках, которые проходят в одном и том же продольном направлении, как показано на фиг. 15, c, , или расположив раздельные преобразователи в том же порядке на двух подвесках, которые проходят в противоположных продольных направлениях, как показано на фиг. 15 г.
Второй вариант осуществления системы резонатора
Первая и вторая инерционные массы также могут быть механически связаны и синхронизированы с пружинной системой, которая содержит третью точку крепления между первой и второй инерционными массами, при этом первая продольная пружина проходит от третьей точки крепления. к первой поперечной штанге, вторую продольную пружину, проходящую от первой поперечной штанги к первой инерционной массе, и третью продольную пружину, проходящую от первой поперечной штанги ко второй инерционной массе.Пружинная система может также содержать четвертую точку крепления между первой и второй инерционными массами, пятую продольную пружину, проходящую от четвертой точки крепления до второй поперечной балки, шестую продольную пружину, проходящую от второй поперечной балки до первой инерционной массы, и седьмую продольную пружину, проходящую от второго поперечного стержня ко второй инерционной массе.
РИС. 16 иллюстрирует резонаторную систему с этой механической связью. Пружинная система может содержать конструкции только на одном продольном конце резонаторной системы или на обоих концах.Последний вариант проиллюстрирован на фиг. 16. Резонаторная система проиллюстрирована с преобразователями вне плоскости на фиг. 16, но такая же механическая связь может быть реализована и для резонаторной системы с плоскими преобразователями. Первый и второй продольные концы инерционных масс не обозначены ссылочными позициями для сохранения ясности.
РИС. 16 иллюстрирует резонаторную систему, в которой количество точек крепления равно двум, а количество подвесок также равно двум.Любой из описанных выше резонаторов может быть реализован в системе резонаторов, и, таким образом, количество точек крепления и количество подвесок может быть увеличено без увеличения количества резонаторов. На фиг. 16 первая инерционная масса 1611 подвешена к первой точке крепления 1621 первой подвеской 1631 . Вторая инерционная масса 1612 подвешена ко второй точке крепления 1622 на второй подвеске 1632 .Обе подвески , 1631, и , 1632, проходят от их соответствующих точек крепления к первым продольным концам инерционных масс, к которым они прикреплены.
В этом случае пружинная система содержит дополнительные центральные точки крепления, третью точку крепления 1623 и четвертую точку крепления 1624 . Один конец первой и четвертой продольных пружин 1671 и 1674 прикреплен к каждой из этих точек крепления, как показано на фиг.16. Другой конец первой и четвертой продольных пружин 1671 и 1674 может быть прикреплен к первой и второй поперечным стержням 1681 и 1682 соответственно. Вторая продольная пружина , 1672, может быть прикреплена своим концом к первому поперечному стержню 1681 , а другим концом — к первой инерционной массе 1611 . Третья продольная пружина , 1673, может быть прикреплена одним концом к первому поперечному стержню 1681 , а другим концом — ко второй инерционной массе 1612 .Пятая продольная пружина 1675 может быть прикреплена одним концом ко второму поперечному стержню 1682 , а другим концом — к первой инерционной массе 1611 . Шестая продольная пружина , 1676, может быть прикреплена одним концом ко второму поперечному стержню 1682 , а другим концом — ко второй инерционной массе 1612 .
Вторая, третья, пятая и шестая продольные рессоры 1672 — 1673 и 1675 — 1676 могут быть прикреплены к сторонам инерционных масс 1611 — 1612 , лежащих напротив третьей и четвертые точки привязки 1623 и 1624 .Это показано на фиг. 16. В качестве альтернативы, вторая, третья, пятая и шестая продольные рессоры 1672 — 1673 и 1675 — 1676 могут быть прикреплены к инерционным массам 1611 — 1612 на любом из их продольных концов, например, близко к продольной средней линии каждой инертной массы.
Пружины 1671 — 1676 и поперечные стержни 1681 — 1682 узкие в одном направлении, как показано на фиг.16. Чем выше их соотношение сторон, тем эффективнее подавление синфазного режима. Также предпочтительны высокие соотношения сторон, поскольку синхронизация будет меньше влиять на общую жесткость пружины желаемых режимов колебаний при высоком соотношении сторон. Соотношение сторон пружин и поперечной балки может предпочтительно находиться в диапазоне 8-12, но даже соотношение сторон 3,4 значительно подавляет синфазные колебания без изменения жесткости пружины более чем на 10%.
Продольные пружины 1671 — 1676 могут иметь гибкость для изгиба в плоскости и скручивания вокруг оси Y, но являются жесткими для изгиба вне плоскости.Поперечные стержни 1681 — 1682 могут быть жесткими для всех режимов изгиба и скручивания, но им также может быть придана некоторая гибкость для изгиба в плоскости. Гибкость для изгиба в плоскости может потребоваться, особенно если точки крепления пружин 1672 — 1673 и 1675 — 1676 не лежат на продольной средней линии каждой инерционной массы. Гибкость поперечного стержня может также улучшить линейность действия пружины в плоскости.
Все описанные и проиллюстрированные выше резонаторные системы содержат подвески, которые представляют собой прямые балки одинаковой ширины, которые проходят на всем пути от точки крепления до инерционной массы. Также можно подготовить изгиб на конце подвески, который соединяет подвеску с инерционной массой во второй точке крепления (например, точки 1551 и 1552 на фиг.15, и ). Изгибы могут иметь гибкость в плоскости и на скручивание.Прямые или гнутые балки, а также комбинации прямых и гнутых балок могут использоваться в качестве изгибов.
Первый вариант осуществления гироскопа
Любая из описанных выше резонаторных систем может быть реализована в гироскопе, когда они сконфигурированы для включения двух режимов ортогонального резонанса и когда они содержат, по меньшей мере, два преобразователя, один для приведения в действие движения привода и один для измерения вторичное вращательное колебательное движение, которое возникает из-за силы Кориолиса, когда гироскоп совершает угловое движение.В общем, преимущество использования резонаторов в соответствии с предыдущими вариантами осуществления в гироскопе состоит в том, что в преобразователях возбуждения получается высокий коэффициент связи, а в считывающих преобразователях получается большой сигнал.
В гироскопе возможно несколько конфигураций преобразователя. Фиг. 17-20 показаны три альтернативные конфигурации гироскопов согласно первому варианту осуществления гироскопа.
По крайней мере, одна из одной или нескольких первых подвесок, прикрепленных к первой инерционной массе, может быть покрыта преобразователем в плоскости, и, по крайней мере, одна из одной или более вторых подвесок, прикрепленных ко второй инерционной массе, может быть покрыта датчик вне плоскости.ИНЖИР. 17 иллюстрирует гироскоп с системой резонаторов, в которой первая инерционная масса 1711 может приводиться во вращательные колебания в плоскости с помощью приводных преобразователей на первой подвеске 1731 . Изгибающая пружина 177 связывает это колебание в плоскости со второй инерционной массой 1712 . Также могут использоваться другие механизмы связи, такие как описанный выше во втором варианте осуществления резонаторной системы. Обе инерционные массы 1711 и 1712 могут иметь одинаковую амплитуду вращения в плоскости, как показано белыми стрелками на инерционных массах.Если гироскоп затем вращается вокруг оси y, сила Кориолиса вызовет вторичные вращательные колебания вокруг оси x. Это колебание может быть обнаружено и измерено датчиками на втором подвесе 1732 . В этом случае первая подвеска 1731 , прикрепленная к первой инерционной массе 1711 , покрыта преобразователем в плоскости, тогда как вторая подвеска 1732 , прикрепленная ко второй инерционной массе 1712 , покрыта непрофильным преобразователь.
Преобразователь на второй подвеске 1732 может также использоваться в качестве преобразователей привода, а преобразователь на первой подвеске 1731 может использоваться как сенсорные преобразователи. Однако может быть предпочтительнее использовать преобразователи, расположенные вне плоскости, в качестве сенсорных преобразователей, поскольку они обычно имеют лучшее электромеханическое соединение, чем преобразователи в плоскости. Чувствительный сигнал имеет тенденцию быть сильнее в преобразователе, расположенном вне плоскости, чем в преобразователе, расположенном в плоскости, и максимизация сигнала считывания обычно является более важным соображением, чем максимизация движущей силы.
Частоты резонанса в плоскости и вне плоскости предпочтительно могут быть близки друг к другу. Инерция вращения по отношению к осям вращения может быть одинаковой при колебаниях в плоскости и колебаниях вне плоскости. Самый простой способ сделать частоты резонанса в плоскости и вне плоскости равными или очень близкими к равным, может заключаться в изготовлении обеих подвесок 1731 и 1732 с одинаковыми профилями ширины и высоты, с равной или равной высотой. очень близко к ширине.Другими словами, поперечная ширина каждой подвески (в направлении x) может быть равна или близка к вертикальной толщине этой подвески (в направлении z), а также поперечной ширине и вертикальной толщине обеих подвесок . 1731 и 1732 могут быть равными или близкими к равным по всей своей продольной длине.
Первая подвеска 1731 и вторая подвеска 1732 проходят к первым продольным концам 1791 инерционных масс 1711 и 1712 от их соответствующих точек крепления 1721 и 1722 на фиг. .17. Фиг. 18 иллюстрирует альтернативную компоновку, в которой первая подвеска 1831 проходит к первому продольному концу 1891 с инерционной массой 1811 , а вторая подвеска 1832 проходит к второму продольному концу 1892 с инерционной массой 1812 от их соответствующие точки крепления 1821 и 1822 .
РИС. 19 показан гироскоп, в котором оба резонатора содержат преобразователи как в плоскости, так и вне плоскости на подвесках 1931 и 1932 , соответственно.Пружина 197 может быть пружиной изгиба или пружиной кручения в зависимости от того, какие преобразователи используются в качестве преобразователей привода. Также могут использоваться другие механизмы связи, такие как описанный выше во втором варианте осуществления резонаторной системы. В проиллюстрированной конфигурации преобразователи, расположенные вне плоскости на двух подвесках, имеют противоположную полярность, а разделенные преобразователи, которые образуют преобразователь в плоскости, расположены на двух подвесках в противоположном порядке. Может быть предпочтительно разместить преобразователи в плоскости ближе ко вторым точкам крепления 1951 и 1952 , а преобразователи вне плоскости ближе к первым точкам крепления 1941 и 1942 , как показано на фиг.19, и использовать преобразователи в плоскости в качестве преобразователей возбуждения и преобразователи вне плоскости в качестве преобразователей чувствительности. Однако противоположная конфигурация возможна в обоих случаях, как показано на фиг. 20.
РИС. 20 также показана конфигурация, в которой первая подвеска 2031 проходит к первому продольному концу 2091 , а вторая подвеска 2032 проходит ко второму продольному концу 2092 от их соответствующих точек крепления 2021 и 2022 .В этой конфигурации противофазные колебания могут быть получены путем нанесения покрытия на преобразователи, расположенные вне плоскости, одинаковой полярности на первой и второй подвесках 2031 и 2032 , а также путем размещения разделенных преобразователей, которые образуют преобразователь в плоскости, в такой же порядок на двух подтяжках.
Специалист в данной области техники поймет, что полный гироскоп может также включать в себя дополнительные функции, такие как определение основной амплитуды и обратная связь по силе для режима считывания.Эти функции могут быть выполнены с помощью дополнительных преобразователей, которые могут быть размещены либо на подвесках, показанных на фиг. 17-20 или на вспомогательных подвесных конструкциях. Однако такие дополнительные функции, подвески и преобразователи не будут описаны более подробно в этом раскрытии.
Все варианты этого первого варианта осуществления гироскопа могут быть реализованы вместе с любым из предыдущих вариантов осуществления резонатора и вариантов осуществления резонаторной системы.
Второй вариант осуществления гироскопа
Фиг.21-23 показаны резонаторные системы согласно второму варианту осуществления гироскопа, который может быть реализован вместе с первым вариантом осуществления гироскопа. В этом варианте осуществления резонаторная система дополнительно содержит по меньшей мере одну внешнюю подвеску, покрытую конструкцией пьезоэлектрического преобразователя, сконфигурированной для приведения в действие или обнаружения колебательного вращательного движения инерционной массы, при этом один конец внешней подвески прикреплен к точке крепления, а другой конец внешней подвески с изгибом крепится к одной из инерционных масс.
РИС. 21 изображена резонаторная система с первой и второй подвесками 2131 и 2132 , прикрепленными к первой и второй точкам крепления 2121 и 2122 и инерционным массам 2111 и 2112 соответственно. Подвески 2131 — 2132 можно назвать «внутренними», так как они расположены в центральных отверстиях инерционных масс 2111 и 2112 .
В показанной резонаторной системе третья и четвертая подвески 2133 и 2134 размещены рядом с инерционными массами 2111 и 2112 .Эти третью и четвертую подвески можно назвать «внешними подвесками», потому что они не расположены в центральных отверстиях инерционных масс 2111 и 2112 . В показанной системе внутренние подвески 2131 и 2132 покрыты датчиками вне плоскости, а внешние подвески 2133 и 2134 покрыты датчиками плоскости. Это расположение можно поменять местами, так что подвески 2131 и 2132 покрыты преобразователями в плоскости, а подвески 2133 и 2134 — преобразователями вне плоскости.Эта альтернативная конфигурация проиллюстрирована на фиг. 22, где пронумерованные компоненты соответствуют компонентам, пронумерованным на фиг. 21. В любой конфигурации дополнительные подвески облегчают использование большей площади преобразователя как для управления резонаторной системой, так и для измерения колебаний, возникающих из-за эффекта Кориолиса.
В дополнение к первой и второй точкам крепления 2121 и 2122 внутри центральных отверстий инерционных масс 2111 и 2112 , гироскоп, показанный на фиг.21 включает третью и четвертую точки привязки 2123 и 2124 . Внешние подвески 2133 и 2134 прикреплены от их первого конца ко вторым точкам крепления 2123 и 2124 соответственно. Второй конец подвесов 2133 и 2134 может быть прикреплен к инерционным массам 2111 и 2112 соответственно через первый и второй прогиб 2161 и 2162 . Изгибы 2161 и 2162 должны обеспечивать гибкость для вращения в плоскости и вне плоскости, поскольку углы в плоскости и вне плоскости конца 2175 или 2176 подвески 2133 или 2134 и соответствующие углы соответствующей инерционной массы 2111 или 2112 будут разными, и крутящий момент не должен создаваться изгибом в точке крепления.Также должна быть обеспечена гибкость для перемещения по оси y, чтобы предотвратить натяжение подвесок 2133 и 2134 из-за изгиба и, следовательно, нелинейности подвесок. Но изгибы 2161 и 2162 должны быть жесткими для перемещения по осям x или z, чтобы иметь возможность передавать усилие в направлениях x или z. Одна из этих форм жесткости необходима в зависимости от того, какие преобразователи используются для привода, а какие — для измерения. Преобразователи на внутренних подвесках 2131 и 2132 могут использоваться в качестве преобразователей привода, а преобразователи на внешних подвесках 2133 и 2134 могут использоваться как сенсорные преобразователи или наоборот.
Как и в предыдущих вариантах реализации резонатора и резонаторной системы, подвески могут проходить в противоположных продольных направлениях от их соответствующих точек крепления, когда точки крепления расположены соответствующим образом. ИНЖИР. 23 иллюстрирует систему резонатора, в которой пронумерованные компоненты соответствуют компонентам, пронумерованным на фиг. 21, но третья внешняя подвеска 2333 проходит к первому продольному концу 2391 с инерционной массой 2311 , а внешняя четвертая подвеска 2334 проходит к второму продольному концу 2392 от их соответствующих точек крепления 2323 и 2324 .Внешние подвески, которые проходят в противоположных продольных направлениях, могут быть объединены с внутренними подвесками, которые проходят в том же продольном направлении от их соответствующих точек крепления, как на фиг. 23, или с внутренними подвесками, которые проходят в противоположных продольных направлениях от их соответствующих точек крепления.
Внешние подтяжки могут быть длиннее внутренних подтяжек, как показано на фиг. 21-23. Они также могут быть короче внутренних подтяжек. Изгибы могут быть прикреплены к инерционным массам в любом месте вдоль продольных концов инерционных масс.
Все варианты этого второго варианта осуществления гироскопа могут быть реализованы вместе с любым из предыдущих вариантов осуществления резонатора и вариантов осуществления резонаторной системы.
Тактовый генератор
Любая конфигурация резонатора и изгиба, описанная в предыдущих вариантах осуществления резонатора и вариантах осуществления резонаторной системы, может быть реализована в тактовом генераторе с дополнениями, известными из предшествующего уровня техники. В общем, преимущества использования резонаторов в соответствии с предыдущими вариантами осуществления в тактовом генераторе включают, по меньшей мере, высокий коэффициент связи, малое сопротивление движению, надежный запуск и низкий уровень шума.
Индуктивно-емкостной резонатор в основе сенсорного решения
Индуктивное сенсорное решение LDC2114 от Texas Instruments (TI) можно приобрести у Mouser Electronics, и вскоре ожидается выпуск решения LDC2112. LDC2112 и LDC2114 — это новые дополнения к сенсорным решениям TI — это многоканальные преобразователи индуктивности в цифровые с низким уровнем шума, оптимизированные для индуктивных сенсорных приложений на монолитных поверхностях.
Индуктивная сенсорная технология позволяет создавать сенсорные кнопки на самых разных материалах, таких как металл, стекло, пластик и дерево, путем измерения небольших отклонений проводящих целей.
Датчик для индуктивной сенсорной системы представляет собой катушку, которая может быть размещена на небольшой компактной печатной плате, расположенной за панелью и защищенной от окружающей среды.
РешенияTI LDC2114 и LDC2112 представляют собой 1,8 В, многоканальные малошумящие преобразователи индуктивности в цифровые сигналы со встроенными алгоритмами для реализации приложений с индуктивным сенсорным управлением.
Двухканальный LDC2112 и четырехканальный LDC2114 устройства используют инновационный индуктивно-емкостной (LC) резонатор, который обеспечивает высокое подавление шума и помех с широким диапазоном частот колебаний от 1 МГц до 30 МГц.
Благодаря регулируемой чувствительности для каждого входного канала, LDC2112 и LDC2114 могут надежно обнаруживать отклонения материала менее 200 нм с широким диапазоном физических структур кнопок и материалов. Измерение с высоким разрешением также позволяет использовать многоуровневые кнопки.
Устройства LDC2112 и LDC2114 могут работать в режиме сверхнизкого энергопотребления 6 мкА для оптимального срока службы батареи или могут переключаться на более высокую скорость сканирования для более быстрого обнаружения нажатия кнопок для игр или других приложений с малой задержкой.
Устройства сконфигурированы через 400 Гц I 2 C, и единственными внешними компонентами, необходимыми для работы, являются конденсаторы байпаса питания и конденсатор вывода COM на землю.
Устройства LDC2112 и LDC2114 идеально подходят для смартфонов, носимых устройств, планшетов и ПК, гарнитур виртуальной реальности, пультов дистанционного управления, а также панелей и клавиатур человеко-машинного интерфейса (HMI).
LDC2112 и LDC2114 поддерживаются оценочным модулем LDC2114EVM. К LDC2114EVM можно подключить до четырех кнопок с помощью LDCCOILEVM или специальных катушек, разработанных с помощью WEBENCH Inductive Sensing Designer.Плата предлагает интегрированные и настраиваемые алгоритмы обнаружения нажатия кнопок с помощью встроенных светодиодных индикаторов.
Микрокольцевый резонатор с высокой добротностью, обернутый изогнутым волноводом
Различные микрокольцевые резонаторы
Различные микрокольца и параметры схематически показаны на рис. 1 (a) — (f). Рис. 1 (а) представляет собой микрокольцо шкивного типа. Рис. 1 (б) — микрокольца с прямым шинным волноводом. Рис. 1 (d) — микрокольца беговой дорожки. На рис. 1 (a) — (f) окружность микрокольца равна 27.835 мкм для всех случаев. Внутренний радиус R 0 и внешний радиус R 1 микрокольца составляют 4,33 мкм и 4,53 мкм на рис. 1 (a) — (c) соответственно. На рис. 1 (а) внутренний радиус изогнутого шинного волновода R 2 составляет 4,68 мкм. Внешний радиус изогнутого шинного волновода R 3 варьируется от 4,83 мкм до 4,93 мкм. Соответствующая ширина шинного волновода d 3 варьируется от 0,15 мкм до 0,25 мкм. На рис. 1 (d) — (f) окружность микрокольца беговой дорожки определена как 2L + 2π [(R 4 + R 5 ) / 2], равная 27.835 мкм, где L, R 4 и R 5 — длина прямого волновода, внешний и внутренний радиусы изогнутого волновода в беговой дорожке соответственно. Кроме того, L варьируется от 0,5 π мкм до 2,5 π мкм. Для всех случаев (рис. 1 (a) — (f)) ширина кольцевого волновода d 1 составляет 0,2 мкм, а зазор d 2 между кольцевым волноводом и шинным волноводом выбран быть 0,15 мкм. Показатель преломления кремниевого волновода для диапазона длин волн от 1 мкм до 2 мкм получен из работы [5].21 около 3,48, а показатель преломления фона равен единице. Индекс контрастности для разных длин волн составляет около 0,46, где n 1 — индекс волновода, а n 2 — индекс слоя оболочки. Поглощение материала в данной работе не учитывается.
Рисунок 1Схематический чертеж микрокольцевых резонаторов.
( a ) показывает микрокольцо шкивного типа. ( b ) и ( c ) показывают микрокольцо с одним шинным волноводом и двумя шинными волноводами соответственно.( d ) показано микрокольцо беговой дорожки шкивного типа. ( e ) и ( f ) показывают микрокольцо с беговой дорожкой с одним шинным волноводом и двумя шинными волноводами соответственно. Зеленые прямоугольники — это детекторы для контроля оптической мощности.
При двумерном моделировании методом конечных разностей во временной области (FDTD) монитор помещается в кольцо. Импульсный источник света на центральной длине волны 1,55 мкм с TM поляризацией запускается для получения спектра света, хранящегося в кольце.Соответствующая ширина полосы импульса составляет около 400 нм. Поляризация TM определяется как направление электрического поля перпендикулярно верхней поверхности устройства. Для оценки добротности в конструкцию запускается импульсный свет на резонансной длине волны.
Добротности и соответствующие параметры для каждого резонатора микрокольца
Для каждого резонатора, показанного на рис. 1, разность постоянной распространения (Δβ) изменяется путем изменения d 3 .Мы применяем метод конформного преобразования 15,22,23 и уравнение Гельмгольца для расчета постоянных распространения волноводов. Из исх. 15 мы пришли к выводу, что постоянная распространения внешнего изогнутого волновода выше, чем у внутреннего изогнутого волновода, поскольку ширина волновода идентична, а постоянная распространения изогнутого волновода может быть изменена путем регулировки ширины изогнутого волновода. В таблице 1 мы перечисляем более высокую и низкую добротность для каждого резонатора на рис.1 и соответствующие параметры. Можно наблюдать, что большее Δβ между шинным волноводом и кольцевым волноводом является одним из факторов для получения микрорезонатора с высокой добротностью. Результаты также показывают, что микрокольцо шкивного типа [рис. 1 (а)] и микрокольцо беговой дорожки с одним шинным волноводом [Рис. 1 (e)] может обеспечить более высокую добротность после регулировки ширины волновода шины.
Таблица 1 Повышенная и пониженная добротность каждого типа микрокольца и соответствующие параметры.Потери на изгибе резонаторов микрокольца
Электрические поля микрокольцов, перечисленных в таблице 1, показаны на рис.2. Результаты показывают, что электрическое поле в шинном волноводе микрокольцов с более высокой добротностью [рис. 2 (а)] слабее, чем в микрокольцах с более низкой добротностью [Рис. 2 (б)] соответственно. Согласно упомянутым выше утверждениям, Δβ в области связи в микрокольце с высокой добротностью больше, чем в микрокольце с низкой добротностью. Для микрокольца с высокой добротностью распространяющийся свет, хранящийся в кольце, трудно передать обратно в волновод шины. Кроме того, микрокольцевый резонатор шкивного типа на рис.2 (а) может обеспечить наивысшую добротность 7 × 10 5 из-за более низких потерь на изгибе. Большая длина взаимодействия области связи (концентрически изогнутые волноводы) в микрокольце шкивного типа может обеспечить меньшие потери на изгиб, чем у других структур, за исключением микрокольца с беговой дорожкой шкивного типа [Рис. 1 (г)].
Рисунок 2Нормированное циркулирующее поле в различных резонаторах микрокольца.
Для микрокольцевого резонатора идентичного типа большее Δβ между шинным волноводом и кольцевым волноводом помогает получить более высокую добротность.Соответствующие резонансные длины волн и ширина шинного волновода перечислены в таблице 1.
Микрокольцо с беговой дорожкой шкивного типа, показанное на рис. 1 (d), с самой длинной областью связи и большой разницей констант распространения между изогнутыми волноводами, Δβ c , не может получить более высокую добротность. Это связано с тем, что радиус изогнутого волновода микрокольца с беговой дорожкой намного меньше, чем у круглых микрокольцов, что приводит к большим потерям на изгиб в изогнутом волноводе шины.
Чтобы изучить связь между потерями на изгибе и резонатором из микрокольца, окруженного изогнутым волноводом, мы вычислили потери на изгибе для одного изогнутого волновода и двух концентрически изогнутых волноводов. Одиночный кольцевой волновод с центральным радиусом R c , определяемым как (R 0 + R 1 ) / 2 = 4,43 мкм, схематично показан на рис. кольцевые волноводы. Зазор между двумя кольцевыми волноводами составляет 0,15 мкм. Ширина внутреннего и внешнего волновода равна 0.2 мкм и 0,23 мкм соответственно. Мы запускаем импульсный свет в кольцо и применяем аппроксимацию экспоненциального затухания для мощности, обнаруженной в кольце, чтобы получить потери на изгиб на расстояние распространения кольцевого волновода методом, опубликованным в [4]. 7. На рис. 3 (c) показаны потери на изгибе на расстояние распространения одиночного кольцевого волновода и двух концентрических кольцевых волноводов. Мы можем заметить, что потери на изгибе двух концентрических кольцевых волноводов ниже, чем у одиночного кольцевого волновода, поскольку внешний волновод концентрических кольцевых волноводов может собирать свет радиационных потерь внутреннего волновода, а затем возвращать свет обратно. к внутреннему волноводу.Следовательно, потери на изгибе кольца могут быть уменьшены путем наматывания изогнутого волновода шины.
Рисунок 3Потери на изгибе.
( a ) и ( b ) показывают схематический чертеж одиночного кольцевого волновода и двух концентрических кольцевых волноводов соответственно. ( c ) Потери на изгибе на расстояние распространения одиночного кольцевого волновода и двух концентрических кольцевых волноводов для разных R c представлены черной линией и красной линией соответственно.
Для микрокольцов с одинаковой окружностью центральный радиус изогнутого волновода микрокольца с беговой дорожкой меньше, чем у других круглых микрокольцев. Следовательно, общие потери на изгибе резонатора микрокольца с беговой дорожкой должны быть больше, чем у другого типа резонатора микрокольца. [Общие потери на изгибе (дБ) микрокольца определяются как потери на изгибе (дБ / см) × длина изогнутого волновода (см). В нашем исследовании потери на изгибе (дБ / см) получены из рис. 3 (c).] Суммарные потери на изгибе микрокольца с одним и двумя волноводами шины идентичны и составляют 7,3 × 10 −3 дБ. Суммарные потери на изгибе микрокольца шкивного типа составляют 5 × 10 −3 дБ. На рис. 3 (c) мы также проиллюстрировали потери на изгиб на расстояние распространения изогнутого волновода в микрокольце с беговой дорожкой для различных L. Общие потери на изгиб микроконцевика с беговой дорожкой с L 0,5π, π, 1,5π, 2π и 2,5π может быть получено равным 1,93 × 10 −2 дБ, 2,93 × 10 −2 дБ, 2.75 × 10 −2 дБ, 2,4 × 10 −2 дБ и 2,18 × 10 −2 дБ, соответственно. Полные потери на изгибе микрокольца беговой дорожки шкивного типа с L 0,5π, π, 1,5π, 2π и 2,5π могут быть получены равными 1,24 × 10 −2 дБ, 1,87 × 10 −2 дБ, 1,79 × 10 −2 дБ, 1,57 × 10 −2 дБ и 1,43 × 10 −2 дБ, соответственно. Результаты показывают, что микрокольцо шкивного типа может обеспечить меньшие потери на изгиб, чем другие типы микрокольца.
Потери в порте вывода
Чтобы исследовать потери мощности из порта B структур с более высокой и низкой добротностью, мы размещаем тридцать детекторов в порте B, как показано на рис.1 (а), (г), (д). Расстояние между детекторами составляет около 80 нм. Как показано на рисунках, детектор A настроен на измерение мощности, накопленной в кольце. Нормализованная потеря мощности из порта B, как показано на рис.4, которая определяется как мощность, обнаруженная тридцатью детекторами, деленная на мощность, обнаруженную детектором A. Красная линия показывает нормированные потери мощности для микрокольца шкивного типа с d 3 0,23 мкм (Q = 7 × 10 5 ). Синяя линия показывает нормированные потери мощности для микрокольца беговой дорожки, как показано на рис.1 (д) с d 3 и L 0,25 мкм и 2,5π мкм, соответственно (Q = 2,83 × 10 5 ). Уменьшение мощности, как показано на рис. 4, указывает на то, что циркулирующий свет в волноводе шины в выходном порте связан с кольцевым волноводом. Выходная мощность, измеренная детектором 30, почти одинакова и составляет около -40 дБ, что указывает на тот факт, что критическая связь двух структур настроена так, чтобы быть почти идентичной. Однако добротность микрокольца с беговой дорожкой ниже, чем у микрокольца шкивного типа с d 3 , равным 0.23 мкм, поскольку меньший радиус изгиба изогнутого волновода в микрокольце с беговой дорожкой обеспечивает более высокие потери на изгиб, чем у микрокольца шкивного типа.
Рисунок 4Потери мощности на выходных портах.
Красная, синяя и зеленая линии представляют нормированную мощность, обнаруженную на порте B микрокольца резонатора шкивного типа, резонатора микрокольца с беговой дорожкой шкивного типа и микрокольца с беговой дорожкой, соответственно.
Из результатов на рис. 3 (c) мы можем сделать вывод, что потери на изгибе микрокольца с беговой дорожкой шкивного типа ниже, чем у микрокольца с беговой дорожкой.Однако добротность микрокольца с беговой дорожкой шкивного типа ниже, чем у микрокольца с беговой дорожкой. Зеленая линия на рис. 4 показывает нормированные потери мощности для микрокольца с беговой дорожкой шкивного типа с d 3 и L, равными 0,2 мкм и 2,5 мкм, соответственно (Q = 3,6 × 10 4 ). Мы можем наблюдать, что измеренная мощность немного изменяется от детектора 1 к детектору 30. Результат показывает, что энергия резонатора теряется из выходного порта. В этом случае критическая связь может быть не такой хорошей, как на рис.2 (а) из-за большей потери энергии на выходном порте. С другой точки зрения, среди всех структур, которые мы анализируем в этой работе, только область соединения микрокольца беговой дорожки шкивного типа состоит из прямых и изогнутых волноводов. В этой структуре параметры устройства включают ширину кольцевого волновода, ширину шинного волновода и радиус кольца, а также ширину зазора. Изменение параметров индивидуально изменит коэффициент связи прямых волноводов, но также и коэффициент связи изогнутых волноводов.Следовательно, критическое соединение микрокольца с беговой дорожкой шкивного типа может быть очень сложно оптимизировать.
В данной работе мы предлагаем рекомендации по проектированию высокодобротного микрокольца. Во-первых, обернув изогнутый волновод вокруг микрокольца, чтобы сформировать соединительный элемент шкива, можно эффективно уменьшить потери на изгибе. Большая длина взаимодействия в области связи, такой как концентрически изогнутые волноводы, помогает уменьшить потери излучения и улучшить добротность резонатора.Во-вторых, большая разница в константе распространения Δβ между микрокольцом и шинным волноводом может лучше поддерживать свет, распространяющийся в микроконусе. В-третьих, критическую связь можно быстро оптимизировать, регулируя ширину волновода шины для увеличения добротности. Вышеупомянутые причины и полученные результаты при сравнении характеристик кольцевых резонаторов разного типа показывают, что микрокольцо шкивного типа может обеспечить более высокую добротность.
Ozark 2112G 5-струнный банджо с кольцом из катанной латуни
Royal Mail объявляет об изменениях в пунктах специальной доставки и обслуживания клиентов.
В свете недавних рекомендаций правительства относительно COVID-19, обратите внимание на следующее объявление Royal Mail об изменениях в их услугах.
Особые поставки.
В связи с повышенным уровнем отсутствия, мы пересмотрели наши установленные по времени гарантии для услуг специальной доставки, гарантированной до 9:00 и 13:00, и внесем следующие изменения.
Для товаров, отправленных со вторника, 31 марта 2020 года, наша гарантийная доставка для специальной доставки, гарантированной до 9:00 следующего рабочего дня, изменится на до 12:00 следующего рабочего дня *. Наша гарантированная доставка для специальной доставки, гарантированной до 13:00, изменится на 21:00 следующего рабочего дня *.
Мы постараемся обеспечить быструю обработку и отправку заказов в тот же день, если это вообще возможно.
Заказанные товары, требующие установки в мастерской, будут отправлены в течение 1-2 дней с использованием местной службы доставки на следующий день DPD (на следующий день будет день после того, как они покинут магазин Eagle Music Shop). В день доставки вы получите текстовое сообщение с указанием времени доставки
.Вы будете немедленно проинформированы, если возникнут проблемы с какой-либо частью вашего заказа или если какой-либо товар отсутствует на складе.
NB: заказы обрабатываются в субботу, но не отправляются нам до понедельника, поскольку Royal Mail и DPD Local не получают от нас в выходные дни.
Вы можете прочитать нашу полную политику доставки здесь.
Если вы не полностью довольны своей покупкой или заказали не тот товар, Eagle Music с радостью вернет вам деньги за покупку (за исключением почтовых расходов) в течение 28 дней при условии, что товары находятся в полностью пригодном для перепродажи состоянии (включая оригинальную неповрежденную упаковку). ) и не фигурирует в Политике исключения. (Исключения относятся к выбранным товарам).
Обратите внимание на следующие исключения:
DVD и CD не подлежат возврату, если они не неисправны
Головки банджо не могут быть возвращены после того, как вы попытались установить их на свое банджо
Гармоники имеют 7-дневную гарантию и могут быть возвращены в течение этого времени, если обнаружится, что они неисправны.
Товары должны быть возвращены Eagle Music вместе с сопроводительным письмом и контактными данными, чтобы вопрос мог быть решен эффективно и быстро.